Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

De Globale Verhouding Onderstreept de Participatie van TSMC in de Euro Ontwikkeling van Technologie

Published on February 19, 2010 at 4:31 AM

Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TWSE: 2330, NYSE: TSM) en MAPPER de Lithografie openbaarde vandaag dat een pre-alpha- die MAPPER hulpmiddel op Fab 12 van TSMC GigaFab™ wordt gevestigd de lithografietechnologie van de eigenschappen eerder herhaaldelijk onbereikbare gebruikende huidige onderdompeling afdrukt.

In De Loop Van de afgelopen verscheidene maanden heeft TSMC zijn team van de Lithografie Maskless uitgebreid en met MAPPER ingenieurs in Fab 12 gewerkt om directe elektronenstraal te integreren schrijft mogelijkheden in productieprocessen voor ontwikkeling van toekomstige technologieknopen.

„TSMC zoekt altijd naar de rendabelste productieprocessen,“ zegt Dr. Shang-Yi Chiang, de Hogere Ondervoorzitter van TSMC van Onderzoek & Ontwikkeling. De „resultaten die uit ons project met MAPPER komen hebben aan agressieve doelstellingen beantwoord en een significante voltooiing in onze Directe veelvoudig-e-Straal Schrijven programma gemerkt dat alle haalbare technologieën van de veelvoudig-e-Straal behandelt. Gebaseerd op deze die resultaten aanmoedigen, zijn wij overtuigd dat Veelvoudige de e-Straal technologie één van de technologieën om de toekomstige lithografienorm is te worden.“

Dr. Christopher Hegarty, MAPPER CEO voegt toe, „Hebbend TSMC aangezien onze lanceringsklant van groot voordeel aan MAPPER is. Nu wij een operationeel hulpmiddel in TSMC hebben en wij gelijktijdig onze inspanningen in het brengen van MAPPER technologie aan markt intensifiëren, zijn wij supremely zeker dat directe de elektronenstraal met succes zal geïntroduceerd in high-volume productieprocessen.“ schrijft

TSMC en MAPPER zullen hun recentste resultaten op de SPIE Geavanceerde conferentie van de Lithografie 2010 in San Jose, CA voorstellen.

MAPPER Technologie
MAPPER ontwikkelt lithografiemachines voor de spaanderindustrie. Deze machines gebruiken een nieuwe en innovatieve technologie waarmee de spaanders van de toekomst kunnen rendabel worden gemaakt. MAPPER de machine verstrekt een hoogst rendabele manier om de volgende generatie van spaanders te maken omdat het beduidend kosten door photomask te elimineren terwijl gelijktijdig het verstrekken van uiteindelijk in resolutie en hoge productiviteit drukt. MAPPER de technologie maakt gebruik massaal van parallelle elektronenstralen, daardoor verstrekkend de zeer hoge resolutie van elektronenstraal bij uiterst hoge productie. De Huidige lithografiemachines gebruiken fotografische technieken om minieme elektrokringen tot stand te brengen kleiner dan 1/100th van een menselijk haar op een siliciumwafeltje. Zij gebruiken een masker dat de blauwdruk van de spaander bevat en dit patroon op een fotogevoelige laag overbrengt (vergelijkbaar met een foto die op film worden blootgesteld), nochtans de fotografische gebruikte technieken zijn zeer beperkt in de resolutie zij kunnen verstrekken en niet meer adequaat voor toekomstige generaties van halfgeleiders zijn.

TSMC is de grootste specifieke de halfgeleidergieterij van de wereld, die de belangrijke het procestechnologie van de industrie en de grootste portefeuille van de gieterij van proces-bewezen bibliotheken, IPs, ontwerphulpmiddelen en verwijzingsstromen verstrekken. De beheerde capaciteit van het Bedrijf in 2009 bedroeg 9.96 miljoen (8-duim equivalent) wafeltjes, met inbegrip van geavanceerde capaciteit van twee 12 duim GIGAFABs™, vier acht-duim fabs, één zes-duim fab, evenals de volledige dochterondernemingen van TSMC, WaferTech en TSMC China, en zijn gemeenschappelijke onderneming fab, SSMC. TSMC is de eerste gieterij om 40nm productiemogelijkheden te verstrekken. Zijn collectief hoofdkwartier is in Hsinchu, Taiwan.

Last Update: 13. January 2012 05:37

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit