Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Глобальное Участие TSMC Подчёркиватей Отношения в Развитии Техника Евро

Published on February 19, 2010 at 4:31 AM

Компания Обрабатывающей Промышленности Полупроводника Тайвани (TWSE: 2330, NYSE: TSM) и Литографирование MAPPER сегодня показали что инструмент MAPPER pre-альфаы расположенный на 12 GigaFab™ TSMC Сказочные повторно печатает характеристики ранее unachievable используя настоящую технологию литографированием погружения.

Над прошлыми несколькими месяцев TSMC расширил свою команду Литографированием Maskless и работал с инженерами MAPPER на Сказочные 12 для того чтобы интегрировать луч электронов сразу пишет возможности в процессы производства для развития будущих узлов технологии.

«TSMC всегда ищет для самых рентабельных процессов производства,» говорит Др. Shang-Yi Chiang, Старший Вице-Президент TSMC Исследования & Развития. «Результаты приходя от нашего проекта с MAPPER соотвествовали агрессивныйым задачам и маркируют значительно достижение в нашем Множественн-E-Луче Сразу Пишут программу которая покрывает все жизнеспособные технологии Множественн-E-Луча. Основано на этих ободряющих результатах, мы убежены что Множественная технология E-Луча одна из технологий, котор нужно стать будущим стандартом литографированием.»

Др. Кристофер Hegarty, CEO MAPPER добавляет, «Имеющ TSMC по мере того как наш клиент старта большого преимущества к MAPPER. Теперь, когда мы имеем рабочий инструмент на TSMC и мы одновременно делаем наши усилия интенсивней в приносить технологию MAPPER для того чтобы выйти на рынок, мы высше уверенно которые луч электронов сразу пишет успешно будет введен в высокообъемные процессы производства.»

TSMC и MAPPER представят их самые последние результаты на Выдвинутом SPIE конференции Литографированием 2010 в Сан-Хосе, CA.

Технология MAPPER
MAPPER развивает машины литографированием для индустрии обломока. Эти машины используют новую и новаторскую технологию с которой обломоки будущего можно сделать цена эффектно. Машина MAPPER обеспечивает сильно рентабельный путь делать следующее поколени обломоков потому что она значительно уменьшает цены путем исключать photomask пока одновременно обеспечивающ типичную в разрешении и высокой урожайности. Технология MAPPER использует массивнейше параллельные лучи электронов, таким образом обеспечивая очень высокое разрешение луча электронов на весьма высоком объём. Настоящие машины литографированием используют фотографические методы для того чтобы создать мельчайшие электрические цепи более малые чем 1/100th из человеческих волос на вафле кремния. Они используют маску которая содержит светокопию обломока и переносит эту картину дальше к фоточувствительному слою (соответствующему к фотоснимку будучи подверганной действию на фильм), тем ме менее фотографические используемые методы очень лимитированы в разрешении они могут обеспечить и больше не адекватни для будущих поколений полупроводников.

TSMC плавильня полупроводника мира самая большая преданная, обеспечивая технологический прочесс индустрии ведущий и портфолио плавильни самое большое процесс-доказанных архивов, IPs, инструментов для конструирования и подач справки. Емкость Компании управляемая в 2009 подытожила 9,96 миллиона (вафли эквивалента 8-inch), включая емкость от 2 выдвинула 12 дюйма GIGAFABs™, 4 fabs 8-дюйма, один 6-дюйм сказочного, так же, как дочернего компании TSMC всецелло имеемого, WaferTech и TSMC Китай, и своего совместного предприятия сказочного, SSMC. TSMC первая плавильня для того чтобы обеспечить возможности продукции 40nm. Свои корпоративные штабы в Hsinchu, Тайвани.

Last Update: 13. January 2012 05:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit