Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanofabrication

TSMC y la Litografía del CARTÓGRAFO Anuncian el Nuevo Descubrimiento Logrado por la Herramienta del CARTÓGRAFO de la Pre-Alfa

Published on February 19, 2010 at 5:54 AM

Compañía de Fabricación del Semiconductor de Taiwán (TWSE: 2330, NYSE: TSM) y la Litografía del CARTÓGRAFO revelaron hoy que una herramienta del CARTÓGRAFO de la pre-alfa situada en los 12 Fabulosos GigaFab™ de TSMC está imprimiendo en varias ocasiones las características previamente inalcanzables usando tecnología actual de la litografía de la inmersión.

En los últimos meses TSMC ha desplegado a sus personas de la Litografía de Maskless y ha estado trabajando con los representantes técnicos del CARTÓGRAFO en 12 Fabulosos para integrar el haz electrónico directo escribe capacidades en los procesos de fabricación para el revelado de los nodos futuros de la tecnología.

“TSMC está explorando siempre para los procesos de fabricación más de poco costo,” dice al Dr. Shang-Yi Chiang, Vicepresidente de TSMC de la Investigación y del Revelado. “Los resultados que venían de nuestro proyecto con el CARTÓGRAFO han logrado objetivos agresivos y marcan un logro importante en nuestro Múltiple-E-Haz Directo Escriben el programa que reviste todas las tecnologías viables del Múltiple-E-Haz. De Acuerdo con estos resultados encouraging, nos convencen de que la tecnología Múltiple del E-Haz es una de las tecnologías a convertirse en el patrón futuro de la litografía.”

El Dr. Christopher Hegarty, el CEO del CARTÓGRAFO agrega, “Teniendo TSMC mientras que nuestro cliente del lanzamiento está de gran ventaja al CARTÓGRAFO. Ahora que tenemos una herramienta operativa en TSMC e intensificamos simultáneamente nuestros esfuerzos en traer la tecnología del CARTÓGRAFO para comercializar, nos sentimos supremo confiados que el haz electrónico directo escribe será introducido con éxito en procesos de fabricación en grandes cantidades.”

TSMC y el CARTÓGRAFO presentarán sus últimos resultados en la conferencia Avance SPIE de la Litografía 2010 en San Jose, CA.

La Tecnología del CARTÓGRAFO

El CARTÓGRAFO desarrolla las máquinas de la litografía para la industria de la viruta. Estas máquinas utilizan una nueva e innovadora tecnología con la cual las virutas del futuro se puedan hacer de poco costo. La máquina del CARTÓGRAFO proporciona a una manera altamente de poco costo de hacer la generación siguiente de virutas porque reduce importante costos eliminando el photomask mientras que simultáneamente proporciona al final en la resolución y la alta productividad. La tecnología del CARTÓGRAFO hace uso masivo de los haces electrónicos paralelos, de tal modo proporcionando al muy de alta resolución del haz electrónico en la producción extremadamente alta. Las máquinas Actuales de la litografía utilizan técnicas fotográficas para crear los circuitos eléctricos minuciosos más pequeños que 1s/100o de un cabello humano en una oblea de silicio. Utilizan una máscara que contenga la heliografía de la viruta y transfiera este modelo conectado a una capa fotosensible (comparable a una fotografía que es expuesta en la película), no obstante las técnicas fotográficas usadas son muy limitadas en la resolución pueden proporcionar y son no más adecuadas para las futuras generaciones de semiconductores.

Fuente: http://www.tsmc.com/

Last Update: 13. January 2012 03:52

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit