Posted in | Nanofabrication

ASML til at levere TWINSCAN NXE: 3100 EUV Litografi System til TSMC

Published on February 22, 2010 at 1:45 AM

ASML Holding NV (ASML) har i dag annonceret, at Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TWSE: 2330, NYSE: TSM) vil tage levering af en TWINSCAN NXE: 3100 ekstrem ultraviolet (EUV) litografi system. Dette værktøj er en af ​​de seks NXE: 3100 EUV systemer til ASML verdensomspændende partnere og kunder.

TSMC forventes at være den første dedikerede støberi foretage on-site EUV udvikling og vil installere det nye system på sin Fab 12 GigaFab ™ til udvikling af fremtidens teknologi noder.

EUV-teknologien anvender en meget kortere bølgelængde og har potentialet til at reducere omkostningerne forbundet med de nuværende teknikker, der anvendes til at strække 193-nm nedsænkning litografi, hvilket gør det til en lovende litografi-teknologi til fremstilling af IC'er til fremtidige avancerede teknologi noder. TSMC er at evaluere EUV og andre litografi teknologier til deres potentiale for at optimere omkostningseffektiv produktion på fremtidig teknologi noder.

"TSMC vil bruge et TWINSCAN NXE: 3100 til forskning og udvikling af fremtidens avancerede teknologi knudepunkter," siger Dr. Shang-yi Chiang, TSMC Senior Vice President for Research & Development. "EUV er en af ​​næste generation litografi teknologier, vi undersøger. Arbejde med dette system er i tråd med vores målsætning om opretholdelse af avancerede teknologiske lederskab. Samtidig, styrker denne aftale vores historiske forpligtelse til at investere i innovative europæiske halvleder Fællesskab, som gennem ASML og andre spil vil en central rolle i vores proces, teknologiudvikling i fremtiden. "

"Med en NXE: 3100 for TSMC, er ASML nu giver EUV systemer til alle større segmenter af chip gør branchen: Logic, DRAM og NAND flash hukommelse, og Foundry," siger Martin van den Brink, ASML er executive vice president og chief produkt & Technology Officer. "Vi ser frem til at fortsætte vores lange samarbejde med TSMC ved at give dem den bedst mulige teknologi for at gøre chips i morgen."

Kilde: http://www.tsmc.com/

Last Update: 3. October 2011 08:57

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit