Posted in | Nanofabrication

ASML som Levererar TWINSCAN NXE: LithographySystem för 3100 EUV till TSMC

Published on February 22, 2010 at 1:45 AM

ASML-Innehav NV (ASML) som i dag meddelas det Fabriks- Företag för Taiwan Halvledare (TWSE: 2330 NYSE: Ska takeleverans för TSM) av en TWINSCAN NXE: ultraviolett lithographysystem (EUV) för ytterlighet 3100. Detta bearbetar föreställer en av sex NXE: 3100 EUV-system för ASMLS världsomspännande partners och kunder.

TSMC förväntas för att vara den första hängivna gjuterit som förar på plats EUV-utveckling, och att ska installera det nya systemet på dess Fab 12 GigaFab™ för utveckling av framtida teknologiknutpunkter.

EUV-teknologi använder en mycket kortare våglängd och har det potentiellt som ska förminskas, kostar tillhörande med lithography för immersionen för elasticitet 193 nm för strömtekniker van vid, danande det en lova lithographyteknologi för fabriks- IC för framtida avancerade teknologiknutpunkter. TSMC utvärderar EUV och andra lithographyteknologier för att deras potentiellt ska optimera kosta-effektivt fabriks- på framtida teknologiknutpunkter.

”TSMC ska bruk en TWINSCAN NXE: 3100 för forskning och utveckling av framtida avancerade teknologiknutpunkter,”, sade Dr. Shang-Yi Chiang, TSMC-Vice verkställande direktör av Forskning & Utveckling. ”Är EUV en av nästa generationlithographyteknologier som vi utforskar. Arbetet med detta system är i överensstämmelse med vårt mål av att underhålla avancerat teknologiledarskap. Samtidigt förstärker denna överenskommelse vår historiska förpliktelse till att investera i den innovativa Européhalvledaregemenskapen som, till och med ASML och andra, ska lek en svängbar roll i vår processaa teknologiutveckling i framtiden.”,

”Med en NXE: alla 3100 för TSMC, ASML nu ger EUV-system till ha som huvudämne segmenterar av gå i flisordanandebranschen: Logik, pråligt minne för SUP och för NAND och Gjuteri,”, sade Martin skåpbil håla Rand, ASMLS verkställande vice ordförande, och kommenderar chefen produkt & teknologi. ”Ser Vi framåtriktat till att fortsätta vårt långa förhållande med TSMC, genom att ge dem som den bäst möjlighetteknologin för danande gå i flisor av morgondag.”,

Källa: http://www.tsmc.com/

Last Update: 25. January 2012 20:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit