Posted in | Nanofabrication

Applied Materials organiseert seminar op kosteneffectieve Lithography Technologies

Published on February 23, 2010 at 4:54 AM

De huidige optische lithografie technieken voor patroonvorming halfgeleiders worden snel bereiken van hun grenzen. Terwijl immersie lithografie met dubbele patronen lijkt uitbreidbaar tot 19nm te zijn voor flash-geheugens en mogelijk tot 15Nm logica ontwerpen, is EUV-lithografie gezien als de meest waarschijnlijke opvolger.

Echter, het is van groot belang dat EUV-lithografie en de daarmee samenhangende processen zijn productie klaar zijn voor deze belangrijke overgang - in staat tot een aanvaardbaar niveau van productiviteit en opbrengst te bereiken. Op 24 februari zal Applied Materials gastheer een diepgaande seminar om de technieken die nodig zal zijn voor een kosteneffectieve geavanceerde scaling te verkennen.

Getiteld "High-productiviteit Technologieën voor Next Generation Lithography," het forum zal beschikken over deskundigen van logica en gieterij fabrikanten, onderzoeksconsortia en de apparatuur sector. Gedurende een volle dag van technische presentaties op de Sainte Claire Hotel in San Jose, Californië, zullen de sprekers de nieuwste ontwikkelingen in het masker en de wafer patronen, inspectie en metrologie, die verbetering van zowel proces precisie en productiviteit.

Sprekers: Chas Archie - Senior fysicus, IBM
Ben Bunday - Senior Lid van Technisch Personeel, SEMATECH
Jo Finders - Fellow, ASML
Ted Liang - Senior Staff Engineer, Intel
Hans Stork - Chief Technology Officer van Silicon Systems Group, Applied Materials

Obert Hout - Belangrijkste Lid van Technisch Personeel, GLOBALFOUNDRIES

Waar: Sainte Claire Hotel,
302 S Market Street, San Jose, CA 95113

Wanneer: woensdag de 24 februari 2010

Schema: 9:00 am-9: 30am Registratie
09u30-4: 30pm Seminar programma
16u30-6: 30pm Ontvangst

Bron: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 4. October 2011 10:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit