EV のグループは Lurie の Nanofabrication 機能に 2 つのウエファーの結合システムを出荷します

Published on March 2, 2010 at 7:17 AM

Lurie の Nanofabrication 機能 (www.mnf.umich.edu/MNF) - ミシガン州立大学に 2 つのウエファーの結合システムを出荷したことを EV のグループ (EVG)、 MEMS のナノテクノロジーおよび半導体の市場のためのウエファーの結合および石版印刷装置の一流の製造者は (LNF)、今日発表しました MEMS のための一流中心およびミクロシステムはおよび全米科学財団によってサポートされる各国用のナノテクノロジーの下部組織 (NNIN)ネットワーク (www.nnin.org) の必要なメンバー研究します。

既に機能でインストールされてウエファーの bonder およびアライナがこれらの新しいシステムは高力のウエファーの結合の機能の提供による大学の全面的な MEMS の研究活動のレベルを増加します。 この順序は強い MEMS の研究を用いる別の主要な大学との長期関係のための会社を安定させたり焦点および更に大学 R & D 競技場の EVG の全面的な存在を拡大すると同時に EVG のための戦略的な勝利を示します。

反復性、信頼性およびテクニカルサポートネットワークに選ばれて、結合システム - EVG 520IS および EVG510 Q1 のために今年目標とされる完了のカスタマ・サイトで - はインストールを経ています。 ウエファーの bonders は生物医学的な、環境のようなフィールドで MEMS 関連の研究の広範囲のために、および光電子工学使用されます。 システムは両方とも例えば金属に金属の結合を可能にし、とりわけ三重スタック陽極の結合を可能にする一義的な高力の結合の機能を、提供します。 システム提供が研究所のプロセスケイパビリティを拡大すること力の柔軟性、また結合形式 (例えば、熱圧縮は陽極、共融、ポリマー、および指示します)。

「NNIN のメンバーとして、私達は最先端の技術的なプロセスケイパビリティを常に捜しています--Lurie の Nanofabrication 機能の私達の自身の研究活動のためにだけ、しかしまた他の研究グループのために MEMS の技術の前進に捧げました」、ミシガン州立大学の教授およびディレクターを言いましたケン Wise。 「いくつかのウエファーの結合システムの続く完全な評価、私達は優秀な技術の機能に EVG の結合の解決を選びました。 EVG のデモの組合せは、強力な支持ネットワーク生じ、システムの入手可能性はでしたすべて私達の決定に重大」。

注意される EV のグループ北アメリカのスティーブン Dwyer、副大統領および総務部長は 「Lurie の Nanofabrication 機能ミシガン州立大学星大学研究組織であり、私達のシステムが競争に選ばれた私達は感動します。 LNF は私達の私達の解決、また私達のカスタマ・サポートのチームの強さへ遺言であるテクニカルサポート機能の最大の信任を示しました、および技術の。 私達は LNF の長期共同のパートナーシップに順方向に見ます」。

Last Update: 3. June 2015 11:57

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