ルーリーのナノファブリケーション施設へのEVグループの船舶2ウェーハ接合システム

Published on March 2, 2010 at 7:17 AM

EVグループ(EVG) 、MEMS、ナノテクノロジー、半導体市場向けのウェーハボンディングとリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーは、本日、ミシガン州のルーリーのナノファブリケーションファシリティ(LNF)(大学に2つのウェハボンディングシステムを出荷したことを発表しましたwww.mnf。 umich.edu / MNF ) - MEMSおよびマイクロシステムの研究と国家ナノテクノロジー基盤ネットワーク(NNIN)(の不可欠なメンバーのための主要な中心地www.nnin.org国立科学財団(NSF)によってサポートされている)、。

既に施設に設置されたウェーハボンダとアライナーと、これらの新しいシステムは、高フォースのウェーハボンディング機能を提供することにより、大学全体のMEMSの研究活動のレベルが上がります。この順序は、強力なMEMSの研究フォーカスし、さらに大学のR&D分野でEVGの全体的なプレゼンスを拡大する。と、他の主要大学との長期的な関係のためのそれはポアズ会社としてEVG社の戦略的勝利をマーク

その再現性、信頼性および技術サポートのネットワーク用に選択された、ボンディングシステム - EVG社520ISとEVG510は - 今年第1四半期をターゲットに完了して顧客のサイトでインストールを経験している。ウェーハボンダーは、生物医学、環境、およびオプトエレクトロニクスなどの分野におけるMEMS関連の研究の広い範囲に使用されます。両方のシステムでは、金属と金属の接合を可能にし、具体的に例えば、トリプルスタックの陽極接合を可能にする独自の高力ボンディング機能を提供します。システムのオファーが研究施設の処理能力を拡大することを力の柔軟性だけでなく、接合形態(例えば、陽極、共晶、ポリマー、熱圧着、及びダイレクト)。

"NNINの一員として、我々は常に最先端の技術的な処理能力を探している - だけでなく、我々自身の研究活動のためだけでなく、MEMS技術を前進させる専用の他の研究グループの利益のために、"教授ケンワイズ氏は語るミシガン大学とルーリーのナノファブリケーション施設のディレクター。 "ウェーハボンディングシステムの数の徹底的な評価の後、我々は、その優れた技術力のためにEVGのボンディングソリューションを選択しました。EVGのデモの結果の組み合わせ、強力なサポートネットワークとそのシステムの手頃な価格は全て我々の決定に批判的だった。"

スティーブンDwyerさん、副社長とEVグループ北アメリカのゼネラルマネージャーは、"ミシガン州のルーリーのナノファブリケーション施設の大学は、恒星の大学研究機関である、と指摘し、我々は我々のシステムが競争上の選択されたことを喜んでいます。LNFは、最大限の信頼性を実証した当社のソリューションだけでなく、私たちの顧客サポートチームの強さを証明するものです私たちの技術と技術サポート力は、我々は、LNFとの長期的な共同パートナーシップを楽しみにして。"

Last Update: 11. October 2011 17:21

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