Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) Pionier von spezialisiert Produktion Lösungen für Fälschung von hoch entwickelt MEMS, Leistung IS und optoelektronische Einheiten, kündigte heute an, dass sie eine Ordnung für ein Hilfsmittel Tegal 110 S/DE DRIE von McGill-Universität empfangen hat, eine führende Forschungsuniversität mit einbezogen in sich entwickelnde Biosensors, in Biochips und in Biosubstanzen unter Verwendung nanostructure Verfahrene. Das Hilfsmittel Tegal 110 S/DE DRIE versendet im laufenden Quartal und ist in den McGill Nanotools - Microfab eingebaut, gelegen in Montreal, Kanada.
Die Hilfsmittelordnung des Silikons DRIE von diesem erstmaligen Abnehmer Tegal DRIE wurde durch Tegal befestigt, das einem gründlichen wettbewerbsfähigen Begutachtungsverfahren durch McGill-Universität folgt.
„Wir freuen uns, in einer Vielzahl von produktiven Zusammenarbeiten mit McGill-Universität in ihren bestimmten Fachgebieten anzuziehen, die den wichtigen Bereich von Einheiten und von Anwendungen BioMEMS umfassen, und wir glauben, dass diese Ordnung ein Testament zur Stärke der 110 S-/DEanlage ist,“ sagten Paul Werbaneth, Vizepräsident des Marketings und der Anwendungen an Tegal Corporation. „McGills Stärken in den multidisziplinären Projekten, welche McGills die Technik-, Wissenschafts- und Medizinlehrkörper, kombiniert mit Tegals Stärken in tiefe Silikonradierung und in tiefe Radierung von dielektrischen Materialien mit einbeziehen, erstellt wichtige Synergien, die wir führen zu die Art der effektiven, fokussierten Forschung denken, die ergibt Sachwert für beide Teams.“
„Die Einführung von DRIE-Fähigkeiten zu unserem Toolset macht den McGill Nanotools Microfab ein vollausgebautes 150mm kompatibles MEMS toll,“ sagte Dr. Matthieu Nannini, Microfab-Manager. „Dieses Hilfsmittel befestigt unseren Bedarf an der Leistung, an der Vielseitigkeit und am kleinen Fußdruck. Wir sind überzeugt es geben uns die Gelegenheit, neue Prozesse und Einheiten für eine große Auswahl von Anwendungen wie microfluidics, RF-MEMS, MOEMS und MEMS im Allgemeinen zu entwickeln.“
Die Anlage Tegal 110 S/DE ist ein Plasmaätzungshilfsmittel mit hoher Schreibdichte, das einen induktiv verbundenen Plasmaätzungsreaktor und magnetische eine Plasmabeschränkung kennzeichnet. Das Hilfsmittel kann Tegals patentiertes SCHARFES ausführen - den Super Hohen Längenverhältnis-Prozess und geätzte MerkmalsLängenverhältnisse von erzielen > 100:1 in den Produktionsumgebungen. Zusammen mit seiner hohen Zuverlässigkeit fanden breite Prozessfenster, und hohe Ätzung bewertet, ist die Anlage Tegal 110 S/DE ein kritischer Enabler für die Ätzung von Silikon (S) und (DE) ein dielektrisch, Filme im MEMS/MOEMS, im Biotech und in den Hallospannung Märkten. Hilfsmittel Tegal DRIE werden momentan in zahlreichen Forschung und Entwicklung Labors weltweit eingesetzt und ziehen in den Handels- und akademischen Forschungsprogrammen an, und werden auch in weltweiten MEMS-Gießereien und in anderen engagierten HandelsGroßserienHerstellungszeilen gefunden.