Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) innovador de especializado producción solución para fabricación de avanzado MEMS, potencia ICs y dispositivos optoelectrónicos, anunció hoy que ha recibido una pedido para una herramienta de la Universidad de McGill, una universidad de cabeza de Tegal 110 S/DE DRIE de la investigación implicada en biosensores, biochips y biomateriales que se convierten usando metodologías del nanostructure. La herramienta de Tegal 110 S/DE DRIE expidirá en el trimestre actual, y será instalada en el McGill Nanotools - Microfab, situado en Montreal, Canadá.
La orden de la herramienta del silicio DRIE de este cliente por primera vez de Tegal DRIE fue asegurada por Tegal que seguía un proceso de evaluación competitivo completo por la Universidad de McGill.
“Estamos observando hacia adelante al enganche a una variedad de colaboraciones productivas con la Universidad de McGill en sus campos de especialización determinados, que incluyen el campo importante de los dispositivos y de las aplicaciones de BioMEMS, y creemos que esta orden es un testamento a la fuerza del sistema de 110 S/DE,” dijo a Paul Werbaneth, Vicepresidente del Márketing y de las Aplicaciones en Tegal Corporation. Las “fuerzas de McGill en los proyectos multidisciplinarios que implican a las facultades de la Ingeniería, de la Ciencia, y del Remedio de McGill, combinadas con las fuerzas de Tegal en la aguafuerte profunda del silicio, y la aguafuerte profunda de materiales dieléctricos, crean las sinergias importantes que pensamos llevaremos a la clase de investigación efectiva, enfocada que dé lugar al valor real para ambas personas.”
“La adición de las capacidades de DRIE a nuestro juego de herramientas hará el McGill Nanotools Microfab 150m m totalmente equipado MEMS compatible fabuloso,” dijo al Dr. Matthieu Nannini, Gerente de Microfab. “Esta herramienta ajusta nuestras necesidades del funcionamiento, de la flexibilidad y de la pequeña huella del pie. Nos sentimos confiados él nos daremos la oportunidad de desarrollar nuevos procesos y los dispositivos para una amplia gama de aplicaciones tales como microfluidics, RF-MEMS, MOEMS y MEMS en general.”
El sistema de Tegal 110 S/DE es una herramienta de alta densidad del grabado de pistas del plasma que ofrece un reactor inductivo acoplado del grabado de pistas del plasma y un arresto magnético del plasma. La herramienta puede ejecutar el SOSTENIDO patentado de Tegal - Alto Proceso Estupendo de la Relación de Aspecto, logrando relaciones de aspecto grabadas el ácido de la característica de > 100:1 en ambientes de producción. Así como su alta confiabilidad, las ventanas de proceso amplias, y el alto grabado de pistas valora, el sistema de Tegal 110 S/DE es un enabler crítico para grabar el ácido el silicio (s) y dieléctrico (DE) las películas encontraron en el MEMS/MOEMS, Biotech, y los mercados del hola-voltaje. Las herramientas de Tegal DRIE se emplean actualmente en laboratorios numerosos de la investigación y desarrollo en el mundo entero, enganchándose a programas de investigación comerciales y académicos, y también se encuentran en las fundiciones de MEMS y otras líneas En grandes cantidades comerciales dedicadas de la Fabricación mundiales.