Tegal Corporation, (Nasdaq : TGAL) innovateur de spécialisé production solution pour fabrication de avancé MEMS, alimentation électrique IC et dispositifs optoélectroniques, a aujourd'hui annoncé qu'elle a reçu une commande pour un outil de Tegal 110 S/DE DRIE de l'Université de McGill, une principale université de recherches concernée dans les biocapteurs, les biopuces et les biomatériaux se développants utilisant des méthodologies de nanostructure. L'outil de Tegal 110 S/DE DRIE se transportera pendant le trimestre en cours, et sera installé dans le McGill Nanotools - Microfab, situé à Montréal, le Canada.
La commande d'outil du silicium DRIE de cette abonnée de première année de Tegal DRIE a été fixée par Tegal suivant une évaluation compétitive complète par l'Université de McGill.
« Nous attendons avec intérêt de s'engager dans un grand choix de collaborations productives avec l'Université de McGill dans leurs secteurs d'expertise particuliers, qui comprennent le champ important des dispositifs et des applications de BioMEMS, et nous croyons que cette commande est un testament à la force du système de 110 S/DE, » a indiqué Paul Werbaneth, Vice Président du Marketing et Applications à Tegal Corporation. Les « forces de McGill dans des projets multidisciplinaires faisant participer les corps enseignant du Bureau D'études, de la Science, et du Médicament de McGill, combinés avec les forces de Tegal en gravure profonde de silicium, et gravure profonde des matériaux diélectriques, produit les synergies importantes que nous pensons mènerons au genre de recherche pertinente et orientée qui a comme conséquence la valeur réelle pour les deux équipes. »
« L'ajout des capacités de DRIE à notre jeu d'outils rendra le McGill Nanotools Microfab un 150mm entièrement équipé MEMS compatible ouvrier, » a dit M. Matthieu Nannini, Gestionnaire de Microfab. « Cet outil ajuste nos besoins d'épreuve de performance, de souplesse et de pied de petit. Nous sommes confiants il nous donnerons l'opportunité de développer des procédés neufs et des dispositifs pour un large éventail d'applications telles que le microfluidics, le RF-MEMS, le MOEMS et le MEMS en général. »
Le système de Tegal 110 S/DE est un outil à haute densité gravure à l'eau forte de plasma comportant un réacteur inductivement accouplé gravure à l'eau forte de plasma et un confinement magnétique de plasma. L'outil peut faire fonctionner le DIÈSE breveté de Tegal - Procédé Élevé Superbe de Rapport Hauteur/largeur, Réalisant des rapports hauteur/largeur corrodés de caractéristique technique de > 100:1 dans des environnements de production. En même temps que sa grande fiabilité, les hublots de processus grands, et gravure à l'eau forte élevée calibre, le système de Tegal 110 S/DE est un enabler critique pour corroder le silicium (s) et diélectrique (DE) des films ont trouvé sur le MEMS/MOEMS, la Biotech, et les marchés de salut-tension. Des outils de Tegal DRIE sont actuellement utilisés dans de nombreux laboratoires de recherche et développement dans le monde entier, s'engageant dans des programmes de message publicitaire et de recherche universitaire, et sont également trouvés dans des fonderies de MEMS et d'autres lignes À Fort Débit commerciales dédiées de Fabrication mondiales.