Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) un innovatore delle soluzioni specializzate di produzione per il montaggio di MEMS avanzato, alimentano i CI e le unità optoelettroniche, oggi annunciate ha ricevuto un ordine per uno strumento di Tegal 110 S/DE DRIE dalla McGill University, un'università principale della ricerca in questione in biosensori di sviluppo, i biochips ed i biomateriali facendo uso delle metodologie di nanostructure. Lo strumento di Tegal 110 S/DE DRIE spedirà nel quarto corrente e sarà installato nel McGill Nanotools - Microfab, situato a Montreal, il Canada.
L'ordine dello strumento del silicio DRIE da questo cliente principiante di Tegal DRIE è stato assicurato da Tegal che segue un trattamento di valutazione non Xerox accurato dalla McGill University.
“Stiamo aspettando con impazienza di impegnarci in varie collaborazioni produttive con la McGill University nei loro campi di specializzazione particolari, che comprendono il campo importante delle unità e delle applicazioni di BioMEMS e crediamo che questo ordine sia un testamento alla concentrazione del sistema di 110 S/DE,„ ha detto Paul Werbaneth, Vicepresidente dell'Introduzione Sul Mercato e delle Applicazioni a Tegal Corporation. “Le concentrazioni di McGill nei progetti pluridisciplinari che fanno partecipare le facoltà dell'Assistenza Tecnica, della Scienza e della Medicina di McGill, combinate con le concentrazioni di Tegal in incisione profonda del silicio ed incisione profonda dei materiali dielettrici, crea le sinergie importanti che pensiamo piombo al genere di efficace, ricerca messa a fuoco che provoca il valore reale per entrambi i gruppi.„
“L'aggiunta delle capacità di DRIE ai nostri strumenti renderà al McGill Nanotools Microfab un 150mm completamente attrezzato MEMS compatibile favoloso,„ ha detto il Dott. Matthieu Nannini, Gestore di Microfab. “Questo strumento misura le nostre esigenze della prestazione, della versatilità e di piccola stampa del piede. Siamo sicuri ci daremo l'opportunità di sviluppare i nuovi processi e le unità per una vasta gamma di applicazioni quali il microfluidics, RF-MEMS, MOEMS e MEMS in generale.„
Il sistema di Tegal 110 S/DE è uno strumento ad alta densità incissione all'acquaforte del plasma che caratterizza un reattore induttivo coppia incissione all'acquaforte del plasma e una relegazione magnetica del plasma. Lo strumento può eseguire lo SHARP brevettato di Tegal - Alto Trattamento Eccellente di Allungamento, Raggiungente gli allungamenti incisi della funzionalità di > 100:1 negli ambienti di produzione. Insieme alla sua alta affidabilità, le vaste finestre trattate ed alta incissione all'acquaforte valuta, il sistema di Tegal 110 S/DE è un enabler critico per incidere del silicio (s) e dielettrico (DE) pellicole hanno trovato nel MEMS/MOEMS, nella Biotech e nei servizi di ciao-tensione. Gli strumenti di Tegal DRIE attualmente sono impiegati nei numerosi laboratori di ricerca e sviluppo nel mondo intero, impegnandosi sia nei programmi di ricerca commerciali che accademici ed egualmente sono trovati nelle fonderie di MEMS ed in altre righe In Grande Quantità commerciali dedicate di Fabbricazione mondiali.