Tegal Corporation、 (NASDAQ: TGAL) 改新者の専門にされる生産解決のために製造の高度 MEMS、力 IC および光電子工学装置、今日発表しましたマギル大学から Tegal 110 S/DE DRIE のツール受け取ったことを、 nanostructure の方法を使用して成長のバイオセンサー、 biochips および生体材料にかかわる一流の研究大学のための発注を。 Tegal 110 S/DE DRIE のツールは今四半期で出荷し、モントリオールにあった McGill Nanotools - Microfab にカナダインストールされます。
Tegal この 1 回目の DRIE の顧客からのケイ素 DRIE のツール順序はマギル大学による完全な競争の評価プロセスに続く Tegal によって保護されました。
「私達は BioMEMS 装置およびアプリケーションの重要なフィールドを含んでいる、私達は信じます彼らの特定の専門分野のマギル大学とのいろいろプロダクティブ共同の実行この順序が 110 S/DE システムの強さへ遺言」、であることをを楽しみにして、ポール Werbaneth を Tegal Corporation のマーケティングそしてアプリケーションの副大統領言いました。 「Tegal の強さと結合される誘電材料の深いケイ素のエッチングおよび深いエッチングで McGill の工学、科学および薬の能力を含む学際的なプロジェクトの McGill 強さ私達が両方のチームのための実質値で」。は起因する有効な、集中された研究の種類に導く考える重要な共同作用を作成します
「私達のツール・セットへの DRIE の機能の付加 McGill Nanotools Microfab に完全装備の 150mm を互換性のある MEMS すてきに作ります」、は先生を言いました Matthieu Nannini、 Microfab マネージャ。 「このツールはパフォーマンス、多様性および小さいフィートプリントのための私達の必要性に合います。 私達は確信していますそれ与えます私達に microfluidics、 RF-MEMS、 MOEMS および MEMS のような広い応用範囲のための新しいプロセスそして装置を一般に発達させる機会を」。
Tegal 110 S/DE システムは帰納的につながれた血しょう腐食リアクターおよび磁気血しょう拘束を特色にする高密度血しょう腐食のツールです。 ツールは > 生産環境の 100:1 Tegal の特許を取られたシャープ - エッチングされた機能アスペクトレシオをの達成する極度の高いアスペクトレシオプロセス -- を実行できます。 高い信頼性とともに、広いプロセス Windows は MEMS/MOEMS、バイオテクノロジーおよびこんにちは電圧市場で、高い腐食は評価し、 Tegal 110 S/DE システムはケイ素 (S (DE)) をエッチングするための重大な enabler および誘電性ですフィルム見つけました。 Tegal DRIE のツールは多数の研究開発の実験室で現在あります、世界中で用いられ、また世界的な MEMS の鋳物場および他の専用商業大量の製造業ラインに商業および学術の研究計画で実行します。