Tegal Corporation, (NASDAQ: TGAL) 혁신자의 전문화하는 생산 해결책을 위해 제작의 향상된 MEMS, 힘 IC와 광전자 공학 장치, 오늘 알렸습니다 McGill 대학에서 Tegal 110 S/DE DRIE 공구 수신했다는 것을, nanostructure 방법론을 사용하는 발전 바이오 센서, 바이오칩 및 생체 적합 물질에서 관련시키는 주요한 연구 대학을 위한 명령을. Tegal 110 S/DE DRIE 공구는 금번 분기에서 발송하고, McGill Nanotools - 몬트리올에서 있는 Microfab에, 캐나다 설치될 것입니다.
Tegal 이 첫번째 DRIE 고객에게서 실리콘 DRIE 공구 명령은 McGill 대학에 의하여 철저한 경쟁적인 평가 프로세스를 따르는 Tegal에 의해 확보되었습니다.
"우리는 BioMEMS 장치와 응용의 중요한 필드를 포함하는 그들의 특정한 전문 분야에 있는 McGill 대학을 가진 다양한 생산적인 공동작업에서 관여시키기 기대하고 있습니다, 이 명령이 110 S/DE 시스템의 병력에 성약,"이다고 우리는 믿고 폴 Werbaneth를 Tegal Corporation에 매매 그리고 응용의 부사장 밝혔습니다. "Tegal의 병력과 결합된 절연성 물자의 깊은 실리콘 에칭 및 깊은 에칭에 있는 McGill의 기술설계, 과학 및 약 능력을 관련시키는 전문 분야 협력 계획사업에 있는 McGill 병력, 우리가 두 팀 전부를 위한 실제적인 가치."는 귀착되는 효과적인, 집중된 연구의 종류에 지도할 생각하는 중요한 공동 작용을 만듭니다
"우리의 연장 세트에 DRIE 기능의 추가 McGill Nanotools Microfab에게 완전히 갖춰진 150mm를 호환성 MEMS 것이 만들 것입니다,"는 박사를 말했습니다 Matthieu Nannini, Microfab 매니저. "이 공구는 성과, 다양성 및 작은 보병 인쇄를 위한 우리의 필요를 적합합니다. 우리는 자부합니다 그것 줄 것입니다 저희에게 microfluidics RF-MEMS, MOEMS 및 MEMS와 같은 넓은 채용 범위를 위한 새로운 프로세스 그리고 장치를 일반적으로 발육시키는 기회를."
Tegal 110 S/DE 시스템은 유도적으로 결합한 플라스마 식각 반응기 및 자석 플라스마 금고를 특색짓는 고밀도 플라스마 식각 공구입니다. 공구는 > 생산 환경에 있는 100:1 Tegal의 특허가 주어진 날가로운 것 - 식각한 특징 종횡비를의 달성하는 최고 높은 종횡비 프로세스를 달릴 수 있습니다. 그것의 높은 신뢰도와 함께, 넓은 가공 Windows는 MEMS/MOEMS, 생물 기술 및 안녕 전압 시장에서, 높은 식각은 평가하고, Tegal 110 S/DE 시스템은 실리콘 (S (DE)) 식각을 위한 중요한 enabler 및 절연성 입니다 필름 찾아냈습니다. Tegal DRIE 공구는 수많은 연구와 개발 실험실에서 곧 있어, 세계적으로 채택되고, 또한 세계 MEMS 주조와 그밖 전용 상업적인 높은 볼륨 제조 선에서 상업기도 하고 학문적인 연구 프로그램에서 관여시키.