Het Bedrijf van Tegal, (Nasdaq: TGAL) een vernieuwer van gespecialiseerde productieoplossingen voor de vervaardiging van geavanceerde MEMS, macht ICs en optoelectronic apparaten, kondigde vandaag aan het een orde voor een Tegal 110 hulpmiddel S/DE DRIE van McGill Universiteit heeft ontvangen, een belangrijke onderzoekuniversiteit betrokken bij het ontwikkelen van biosensors, biochips en biologisch materialen gebruikend nanostructuremethodologieën. Tegal 110 hulpmiddel S/DE DRIE verschepen=zal= in het huidige kwart, en zal wordt geïnstalleerd in McGill Nanotools - gevestigde Microfab, in Montreal, Canada.
De orde van het siliciumDRIE hulpmiddel van deze first-time klant van Tegal werd DRIE beveiligd door Tegal na een grondig concurrerend evaluatieproces door McGill Universiteit.
„Wij verheugen ons op het in dienst nemen in een verscheidenheid van productieve samenwerking met Universiteit McGill op hun bijzonder gebied van deskundigheid, dat het belangrijke gebied van apparaten BioMEMS en toepassingen omvat, en wij geloven deze orde een testament aan de sterkte van systeem 110 S/DE,“ bovengenoemde Paul Werbaneth, Ondervoorzitter van Marketing en Toepassingen bij Bedrijf Tegal is. De „sterke punten van McGill in multidisciplinaire projecten die de Techniek van McGill, Wetenschap, en de faculteiten van de Geneeskunde impliceren die, met de sterke punten van Tegal in diep silicium ets, en diepe ets van diëlektrische materialen worden gecombineerd, leidt tot belangrijke synergismen die wij denken zullen leiden tot het soort efficiënt, geconcentreerd onderzoek dat in echte waarde voor beide teams.“ resulteert
De „toevoeging van mogelijkheden DRIE aan onze toolset zal McGill Nanotools Microfab een volledig uitgeruste 150mm compatibele MEMS fab maken,“ zei Dr. Matthieu Nannini, Manager Microfab. „Dit hulpmiddel past onze behoeften aan prestaties, veelzijdigheid en kleine voetaf:drukken. Wij zijn zeker het ons de kans zal bieden om nieuwe processen en apparaten voor een brede waaier van toepassingen zoals microfluidics, rf-MEMS, MOEMS en MEMS in het algemeen te ontwikkelen.“
Tegal 110 systeem S/DE is een high-density plasma etst hulpmiddel dat een inductief gekoppeld plasma kenmerkt etst reactor en magnetische plasmabeperking. Het hulpmiddel kan gepatenteerde SCHERP van Tegal in werking stellen - Super Hoge Aspectverhouding Proces, bereikend geëtste eigenschapaspectverhoudingen van > 100:1 in productiemilieu's. Samen met zijn hoge betrouwbaarheid, etsen de brede procesvensters, en hoog tarieven, is Tegal 110 systeem S/DE een kritieke enabler voor etssilicium (s) en diëlektrische die (DE) films in MEMS/MOEMS, Biotech, en de hallo-voltagemarkten worden gevonden. De hulpmiddelen van Tegal DRIE zijn over de hele wereld weldra aangewend in talrijke onderzoek en ontwikkelingslaboratoria, in dienst nemend in zowel commerciële als academische onderzoeksprogramma's, en in gieterijen MEMS en andere specifieke commerciële lijnen van de Productie van het Hoge Volume wereldwijd ook gevonden.