Tegal Corporaçõ, (Nasdaq: A ferramenta de Tegal 110 S/DE DRIE enviará no quarto actual, e será instalada no McGill Nanotools - Microfab, situado em Montreal, Canadá.
O pedido da ferramenta do silicone DRIE deste cliente principiante de Tegal DRIE foi fixado por Tegal que segue um processo de avaliação competitivo completo pela Universidade de McGill.
“Nós estamos olhando para a frente ao contrato em uma variedade de colaborações produtivas com a Universidade de McGill em suas áreas de especialização particulares, que incluem o campo importante de dispositivos e de aplicações de BioMEMS, e nós acreditamos que este pedido é um testamento à força do sistema de 110 S/DE,” disse Paul Werbaneth, Vice-presidente do Mercado e das Aplicações em Tegal Corporaçõ. De “as forças McGill nos projectos multidisciplinares que envolvem as faculdades da Engenharia, da Ciência, e da Medicina de McGill, combinadas com as forças de Tegal gravura a água-forte profunda do silicone, e gravura a água-forte profunda de materiais dieléctricos, criam as sinergias importantes que nós pensamos conduziremos ao tipo da pesquisa eficaz, focalizada que conduz ao valor real para ambas as equipes.”
“A adição de capacidades de DRIE a nosso conjunto de ferramentas fará o McGill Nanotools Microfab um 150mm totalmente equipada MEMS compatível fabuloso,” disse o Dr. Matthieu Nannini, Gerente de Microfab. “Esta ferramenta cabe nossas necessidades para o desempenho, a versatilidade e a cópia pequena do pé. Nós estamos seguros ele dar-nos-emos a oportunidade de desenvolver geralmente processos novos e dispositivos para uma vasta gama de aplicações tais como o microfluidics, o RF-MEMS, o MOEMS e o MEMS.”
O sistema de Tegal 110 S/DE é uma ferramenta high-density gravura em àgua forte do plasma que caracteriza um reactor indutiva acoplado gravura em àgua forte do plasma e um confinamento magnético do plasma. A ferramenta pode executar o SHARP patenteado de Tegal - Processo Alto Super do Prolongamento, Conseguindo prolongamentos gravados da característica de > 100:1 em ambientes de produção. Junto com sua confiança alta, os indicadores largos do processo, e gravura em àgua forte alta avalia, o sistema de Tegal 110 S/DE é um enabler crítico para gravar o silicone (s) e dieléctrico (DE) filmes encontraram no MEMS/MOEMS, na Biotech, e nos mercados da olá!-tensão. As ferramentas de Tegal DRIE são empregadas presentemente em laboratórios numerosos da investigação e desenvolvimento no mundo inteiro, contratando em programas de investigação comerciais e académicos, e igualmente encontradas nas fundições de MEMS e em outras linhas comerciais dedicadas da Fabricação do Volume Alto mundiais.