Tegal Корпорация, (NASDAQ: TGAL) рационализатор специализировано продукция разрешение для изготовление предварительно MEMS, сила ICs и электронно-оптический приборы, сегодня объявил что она получило заказ для инструмента от Университета McGill, ведущего университета Tegal 110 S/DE DRIE исследования, котор включили в превращаясь биосенсоры, биочипы и биоматериалы используя методологии nanostructure. Инструмент Tegal 110 S/DE DRIE грузит в настоящей четверти, и будет установлен в McGill Nanotools - Microfab, расположенное в Монреали, Канада.
Заказ инструмента кремния DRIE от этого начинающего клиента Tegal DRIE был обеспечен Tegal следовать тщательным конкурсным процессом оценки Университетом McGill.
«Мы смотрим вперед к включать в разнообразие производительных сотрудничествах с Университетом McGill в их определенных сферах экспертизы, которые включают важное поле приборов и применений BioMEMS, и мы верим что этот заказ завет к прочности системы 110 S/DE,» сказало Паылю Werbaneth, Недостатку - Президенту Маркетинга и Применений на Tegal Корпорации. «Прочности McGill в multidisciplinary проектах включая факультеты Инджиниринга, Науки, и Медицины McGill, совмещенные с прочностями Tegal в глубокое вытравливание кремния, и глубокое травление диэлектрических материалов, создают важные синергии которые мы думаем ведем к виду эффективного, сфокусированного исследования которое приводит к в реальном значении для обеих команд.»
«Добавление возможностей DRIE к нашему toolset сделает McGill Nanotools Microfab польностью оборудованное 150mm совместимое MEMS сказочный,» сказал Др. Matthieu Nannini, Менеджер Microfab. «Этот инструмент приспосабливает наши потребности для представления, многосторонности и малой печати ноги. Мы уверенно оно передадим нам возможность развить новые процессы и приборы для широкого диапазона применений как microfluidics, RF-MEMS, MOEMS и MEMS вообще.»
Система Tegal 110 S/DE high-density инструмент etch плазмы отличая индуктивно соединенным реактором etch плазмы и магнитным удерживанием плазмы. Инструмент может работать ДИЕЗ Tegal запатентованный - Супер Высокий Процесс Коэффициента Сжатия, достигая вытравленных коэффициентов сжатия характеристики > 100:1 в промышленных средах. Вместе с своей высокой надежностью, обширные отростчатые окна, и высокий etch классифицирует, система Tegal 110 S/DE критический enabler для вытравлять кремний (S) и диэлектрическа (DE) фильмы нашли в MEMS/MOEMS, био-технике, и рынках высок-напряжения тока. Инструменты Tegal DRIE в настоящее время использованы в многочисленних лабораториях научных исследований и разработки повсеместно в мир, включающ и в коммерчески и академичных исследовательских программах, и также найдены в плавильнях MEMS и других преданных коммерчески Высокообъемных линиях Изготавливания всемирных.