Tegal Korporation, (Nasdaq: TGAL) en innovatör av specialiserade produktionlösningar för fabriceringen av avancerad MEMS, driver ICs, och optoelectronic apparater som meddelas i dag det, har mottagit en beställa för en Tegal som 110 S/DE DRIE bearbetar från den McGill Universitetar, en ledande forskninguniversitetar som är involverad i framkallande biosensors, biochips och biomaterials genom att använda nanostructuremethodologies. Tegalen 110 S/DE DRIE bearbetar den ska shipen i strömmen inkvarterar och ska installeras i McGillen Nanotools - Microfab som lokaliseras i Montreal, Kanada.
Silikonerna DRIE bearbetar beställer från denna första-Time Tegal DRIE kund säkrades av Tegal efter en grundlig konkurrenskraftig utvärdering som är processaa vid den McGill Universitetar.
”Ser Vi framåtriktat till inkoppling i en variation av produktiva samarbeten med den McGill Universitetar i deras särskilda områden av sakkunskap, som inkluderar det viktigt sätter in av BioMEMS apparater och applikationer, och vi tror denna beställer är en testament till styrkan av systemet för 110 S/DE,”, sade Paul Werbaneth, Vicepresident av att Marknadsföra och Applikationer på Tegal Korporation. ”McGills projekterar strykor i tvärvetenskapligt att gälla McGills som Iscensätter, Vetenskap, och Medicinfakulteter som kombineras med Tegals strykor i djup silikonetsning och djup etsning av dielectric material, skapar viktiga synergies som vi funderare ska bly- till sorten av effektiv fokuserad forskning, som resulterar i verkligt, värderar för båda lag.”,
”Gör tillägget av DRIE-kapaciteter till vår ska toolset McGillen Nanotools Microfab en fullständigt utrustad 150mm kompatibel MEMS fab,”, sade Dr. Matthieu Nannini, den Microfab Chefen. ”Bearbetar Detta passformar våra behov för kapacitet, versatility och litet fottryck. Vi är säkra det ska ger oss tillfället att framkalla nytt bearbetar och apparater för en lång räcka av applikationer liksom microfluidics, RF-MEMS, MOEMS och MEMS i allmänhet.”,
Det Tegal 110 S/DE systemet är etttäthet plasma etsar bearbetar att presentera ett inductively kopplat ihop plasma etsar reaktorn och magnetisk plasmafångenskap. Bearbeta kan köra Tegals patenterade KOR - Toppna det Processaa KickAspektFörhållandet och att uppnå etsade särdragaspektförhållanden av > 100:1 i produktionmiljöer. Samman med dess kickpålitlighet marknadsför breda processaa fönster, och kicken etsar klassar, är det Tegal 110 S/DE systemet en kritisk enabler för att etsa silikoner (S), och (DE) dielectricen filmar funnit i MEMSEN/MOEMS, bio-tech och hög-spänning. Tegal DRIE bearbetar används just nu i laboratoriumalltigenom för talrik forskning och utvecklingsvärlden och att koppla in i både reklamfilm och akademiska forskningprogram och finnas också i MEMS-gjuterier, och annan hängiven Fabriks- reklamfilmKickVolym fodrar värld-sned boll.