Tegal Corporation， (那斯达克： TGAL) 创新者专门化生产解决方法为制造先进 MEMS，功率集成电路和光电子设备，今天宣布它从麦吉尔大学收到了 Tegal 110 S/DE DRIE 工具的，在开发的生理传感器、生物芯片和生物材料介入的一所主导的研究大学一份订单使用 nanostructure 方法。 Tegal 110 S/DE DRIE 工具在本季度在 McGill Nanotools - Microfab 将运送和被安装，位于蒙特利尔，加拿大。
从此首次 Tegal DRIE 客户的硅 DRIE 工具命令由按照由麦吉尔大学的 Tegal 获取一个彻底的竞争评价程序。
“我们盼望参与与麦吉尔大学的各种各样的生产协作在他们的特殊专门知识领域，包括 BioMEMS 设备和应用的重要域，并且我们相信此顺序是遗嘱对 110 个 S/DE 系统的力量”，说保罗 Werbaneth，市场营销和应用的副总统在 Tegal Corporation。 “在涉及 McGill 的工程、科学和医学系的多重学科的项目的 McGill 的力量，结合与 Tegal 的力量在深刻的硅蚀刻和电介质材料深刻的蚀刻，创建我们认为将导致这有效，集中的研究导致两个小组的实际值的重要共同作用”。
“DRIE 功能的添加对我们的成套工具的将使 McGill Nanotools Microfab 一全副武装 150mm 兼容 MEMS 很好”， Microfab 经理说博士 Matthieu Nannini。 “此工具适合我们的对性能、通用性和小的英尺打印的需要。 我们确信它将提供我们机会一般来说发展更新过程和设备各种各样的应用的例如 microfluidics、 RF-MEMS、 MOEMS 和 MEMS”。
Tegal 110 S/DE 系统是以引人地耦合的等离子铭刻反应器和磁性等离子分娩为特色的一个高密度等离子铭刻工具。 工具在生产环境里可能运行 Tegal 的给予专利的锐利 - 超级高长宽比进程，达到被铭刻的功能长宽比 > 100:1。 与其高信度一起，清楚的处理视窗，并且高铭刻对估计， Tegal 110 S/DE 系统铭刻的硅 (S) 一重要支持因素和电介质 (DE)影片在 MEMS/MOEMS、生物科技和喂电压市场上查找了。 Tegal DRIE 工具在许多研究与开发实验室在 MEMS 的铸造厂和全世界其他专用的商业大容积制造的线路在世界各地目前被使用，参与商业和学术研究方案和也被找到。