Tegal Corporation， (那斯達克： TGAL) 創新者專門化生產解決方法為製造先進 MEMS，功率集成電路和光電子設備，今天宣佈它從麥吉爾大學收到了 Tegal 110 S/DE DRIE 工具的，在開發的生理傳感器、生物芯片和生物材料介入的一所主導的研究大學一份訂單使用 nanostructure 方法。 Tegal 110 S/DE DRIE 工具在本季度在 McGill Nanotools - Microfab 將運送和被安裝，位於蒙特利爾，加拿大。
從此首次 Tegal DRIE 客戶的硅 DRIE 工具命令由按照由麥吉爾大學的 Tegal 獲取一個徹底的競爭評價程序。
「我們盼望參與與麥吉爾大學的各種各樣的生產協作在他們的特殊專門知識領域，包括 BioMEMS 設備和應用的重要域，并且我們相信此順序是遺囑對 110 个 S/DE 系統的力量」，說保羅 Werbaneth，市場營銷和應用的副總統在 Tegal Corporation。 「在涉及 McGill 的工程、科學和醫學系的多重學科的項目的 McGill 的力量，結合與 Tegal 的力量在深刻的硅蝕刻和電介質材料深刻的蝕刻，創建我們認為將導致這种有效，集中的研究導致兩個小組的實際值的重要共同作用」。
「DRIE 功能的添加對我們的成套工具的將使 McGill Nanotools Microfab 一全副武裝 150mm 兼容 MEMS 很好」， Microfab 經理說博士 Matthieu Nannini。 「此工具適合我們的對性能、通用性和小的英尺打印的需要。 我們確信它將提供我們機會一般來說發展更新過程和設備各種各樣的應用的例如 microfluidics、 RF-MEMS、 MOEMS 和 MEMS」。
Tegal 110 S/DE 系統是以引人地耦合的等離子銘刻反應器和磁性等離子分娩為特色的一個高密度等離子銘刻工具。 工具在生產環境裡可能運行 Tegal 的給予專利的銳利 - 超級高長寬比進程，達到被銘刻的功能長寬比 > 100:1。 與其高信度一起，清楚的處理視窗，并且高銘刻對估計， Tegal 110 S/DE 系統銘刻的硅 (S) 一重要支持因素和電介質 (DE)影片在 MEMS/MOEMS、生物科技和餵電壓市場上查找了。 Tegal DRIE 工具在許多研究與開發實驗室在 MEMS 的鑄造廠和全世界其他專用的商業大容積製造的線路在世界各地目前被使用，參與商業和學術研究方案和也被找到。