順序は次世代 MOCVD システム AIX G5 HT および CRIUS II. AIXTRON の進水は既に両方の技術のツールのための多重購入指示書を受け取るこれらの新しいシステム生成の成功と非常に嬉しい、ことを AIXTRON が発表したら後間もなくして、受け取られました。
証明された惑星リアクターデザインに基づいて、 AIX G5 HT は高いプロセス圧力で非常に高い成長率の許可によって最も高い生産性および層の品質を提供する革命的な新しいリアクター設計特微と組み合わせて (56x2/14x4/8x6inch) 使用できる最も大きいウエファー容量を特色にします。 ツールの機能はまた十分に自動化された操作および進められたすてきな統合を含んでいます。
、 Rainer Beccard 先生は Marketing AIXTRON の副大統領説明します: 科学技術のリーダーシップを示すために 「AIXTRON は託されます。 私達の次世代のプラットホームの私達の新しく革新的な技術の導入によって、 AIX G5 HT、私達は前の MOCVD の生成と比較される生産性の倍増より多くを私達の顧客に提供します可能にする革命的な新しいリアクターデザインを」。
ターム CRIUS® および惑星の Reactor® は登録商標です。