Posted in | Nanoelectronics

المواد التطبيقية تطلق قبل تنظيف غرفة للأجهزة منطق الفرعية 32nm

Published on March 30, 2010 at 2:40 AM

المواد التطبيقية ، أعلنت اليوم شركة لصناعة أشباه الموصلات أول درجات الحرارة المنخفضة المتكاملة قبل نظيفة للتطبيقات (EPI) الفوقي الذي يتوفر على الشركة الرائدة لتطبيق نظام ® Centura RP برنامج التحصين الموسع.

عرض تطبيقها في صناعة أشباه الموصلات أول متكاملة درجات الحرارة المنخفضة قبل تنظيف لتطبيقات برنامج التحصين الموسع لنظامها Centura التطبيقية برنامج التحصين الموسع في البرنامج العادي.

الجديد قبل تنظيف الغرفة ، والذي يتميز التطبيقية المؤكدة Siconi ™ التكنولوجيا ، ويقدم أداء العملية الحساسة الحرجة اللازمة لتوسيع نطاق المزايا سلالة الهندسة والمنطق في الأجهزة الفرعية 32nm. بالإضافة إلى ذلك ، حيث يتم دمج عمليات ما قبل النظيفة وبرنامج التحصين الموسع على منصة الفراغ نفسه ، يتم القضاء على قائمة الانتظار والوقت هو خفض التلوث بينية من قبل أكثر من أمر من حجم أكثر من نظم قائمة بذاتها ، وخلق الأسطح السيليكون البكر للبرنامج الموسع للتمنيع خالية من العيوب الكريستال النمو.

التقليدية ما قبل التكنولوجيا النظيفة يتطلب نظيفة مبللة يعقبه أخبز 800 درجة مئوية. في الأجهزة المتقدمة 32nm وأدناه ، يمكن للتنظيف الرطب العدوانية تآكل هياكل الدوائر ، في حين أن أخبز درجات حرارة عالية يمكن أن تضعف بشكل كبير من مستويات التوتر القائمة. في المقابل ، على براءة اختراع تكنولوجيا Siconi الكيمياء تنظيف البلازما على أساس توفر لطيف ، لكنها فعالة جدا إزالة أكسيد ، عند درجة أقل من 130 ، والحفاظ على سلالة الأمثل والحفاظ على ملامح دقيقة.

"وقد بنيت التطبيقية قيادتها منذ فترة طويلة في برنامج التحصين الموسع من خلال توسيع ترسب باستمرار مع قدرات التكنولوجيا الجديدة والمبتكرة ،" وقال ستيف غنايم ، نائب الرئيس والمدير العام لوحدة التطبيقية في الجبهة نهاية الأعمال المنتجات. واضاف "حتى الآن ، تم الرائدة chipmakers قادر على تحقيق مكاسب تماما السرعة التي توفرها الترانزستور EPI طبقات متعددة. وSiconi متكاملة نظيفة قبل حل هذه المشكلة ، مما يمكن العملاء من الحصول على الفائدة الكاملة للهندسة لانتاج سلالة أجهزتهم أعلى مستوى من الأداء ".

مصممة لتوفير استهلاك الطاقة ، وعملية متكاملة Siconi يقلل بشكل ملحوظ من استهلاك المياه والكهرباء. من خلال القضاء على الحاجة إلى خبز درجات حرارة عالية ، يمكن أن Siconi قبل تنظيف إنقاذ ما يعادل أكثر من 36000 كيلو واط ساعة من الطاقة أو 40000 جنيه من انبعاثات CO2 سنويا.

وقد المتكاملة Siconi قبل التكنولوجيا النظيفة استقبل بحماسة من قبل chipmakers وقيد الاستخدام في الشركات المصنعة للأجهزة متعددة في جميع أنحاء العالم. يمكن أن تتم ترقية قاعدة تثبيت نظم برنامج التحصين الموسع Centura RP مع التكنولوجيا Siconi من خلال حزمة الترقية فعالة من حيث التكلفة.

المصدر : http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 3. October 2011 21:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit