AIXTRON Recibe la Pedido para el Sistema de la Deposición de la Magia Negra de Centro de la Nanotecnología de Birck de la Universidad de Purdue

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

AIXTRON AG anunciaron hoy una pedido para un sistema de la deposición de la Magia Negra del Centro de la Nanotecnología de Birck de la Universidad de Purdue en Lafayette Del Oeste, HACIA ADENTRO, los E.E.U.U. La orden está para un sistema de la configuración del fulminante de 2 pulgadas para la deposición de los nanomaterials del carbón y de los altos-k óxidos por la deposición atómica de la capa (ALD). La orden fue recibida en el cuarto trimestre de 2009 y el sistema será entregado en el segundo trimestre de 2010.

Mientras Que reconoce la Oficina de la Investigación del Ejército para el soporte de este proyecto con el Departamento de los E.E.U.U. del programa del DURIP de la Defensa, comenta el Profesor Adjunto Peide YE de la Universidad de Purdue, “La plataforma de la Magia Negra CVD/PECVD es vital a nuestros proyectos de investigación avanzados en curso de la caracterización del dispositivo del CMOS. Este sistema primero del tipo del CVD de la doble-configuración permitirá que a no sólo realicemos CNT y la deposición del graphene pero también que preparemos los altos-k óxidos por ALD "in-situ". Tener esta capacidad única en Birck significa que podremos optimizar el carbón/los materiales óxido-basados para los canales del dispositivo de la siguiente-generación. La ventaja de preparar el óxido "in-situ" directamente después de que el incremento del canal sea que potencialmente elimina la contaminación y la carga atrapada, llevando a un canal/a un óxido más limpios interconecta y mejora funcionamiento del dispositivo.”

Abierto en julio de 2005, los $58 millones, 187.000 sq. el pie, Centro de la Nanotecnología de Birck incluye 25.000 sq. pies Recinto limpio de la nanofabricación de la Clase 1-10-100 - el Laboratorio de la Nanofabricación de Scifres. El recurso tiene muchas características avanzadas tales como cuartos inferiores especiales de la vibración para la investigación del nanostructure con temperatura exacta y el control ambiental. El centro también contiene otros laboratorios para el nanophotonics, el incremento cristalino, electrónica molecular, MEMS y NEMS, el análisis superficial, SEM/TEM y caracterización eléctrica. Además, tiene un recurso único de la incubadora de la nanotecnología para la transferencia de la acción recíproca y de la tecnología con industria.

El Dr. Rainer Beccard, Vicepresidente Marketing en AIXTRON, fomenta comentarios. “Mientras Que la investigación ha progresado hacia lograr la Ley de Moore con la posibilidad de introducir los materiales de III-V como material del canal del dispositivo, los otros materiales del canal basados en el carbón también ahora se están investigando como opciones futuras. El equipo del MOCVD de la escala del 300mm-wafer de AIXTRON se ha utilizado ya en otras ubicaciones para los materiales del canal de III-V. Con la puesta en vigor única de la capacidad de CNT/graphene/ALD en Purdue, los investigadores pueden también explorar los retos de los nanomaterials de integración del carbón en el canal del dispositivo.”

Last Update: 13. January 2012 00:26

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