AIXTRON Riceve l'Ordine per il Sistema del Deposito di Magia Nera dal Centro di Nanotecnologia del Birck dell'Università di Purdue

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

AIXTRON AG oggi hanno annunciato un ordine per un sistema del deposito di Magia Nera dal Centro di Nanotecnologia del Birck dell'Università di Purdue a Lafayette Ad Ovest, DENTRO, U.S.A. L'ordine è per un sistema a 2 pollici di configurazione del wafer per il deposito dei nanomaterials del carbonio e degli ossidi alti--K tramite il deposito atomico del livello (ALD). L'ordine è stato ricevuto nel quarto trimestre di 2009 ed il sistema sarà consegnato nel secondo trimestre di 2010.

Mentre riconosce l'Ufficio della Ricerca dell'Esercito per il supporto di questo progetto con il Dipartimento degli STATI UNITI del programma del DURIP della Difesa, il Professore Associato Peide YE della Purdue University commenta, “La piattaforma di Magia Nera CVD/PECVD è vitale ai nostri progetti di ricerca avanzati in corso di caratterizzazione dell'unità di CMOS. Questo sistema primissimo di CVD di doppio-configurazione permetterà che noi a non solo effettuiamo CNT ed il deposito del graphene ma anche prepariamo gli ossidi alti--K da ALD in situ. Avere questa capacità unica a Birck significa che potremo ottimizzare il carbonio/ai materiali basati a ossido per i canali di prossima generazione dell'unità. Il vantaggio di preparazione dell'ossido in situ direttamente dopo che la crescita del canale è che potenzialmente elimina la contaminazione e la tassa bloccata, piombo al canale/ossido più puliti collega e migliora la prestazione dell'unità.„

Aperto nel luglio 2005, i $58 milioni, 187.000 quadrati. il piede, Centro di Nanotecnologia di Birck include i 25.000 quadrati. piedi Locale senza polvere di nanofabbricazione della Classe 1-10-100 - il Laboratorio di Nanofabbricazione di Scifres. La funzione ha molte funzionalità avanzate quali le stanze basse speciali di vibrazione per la ricerca di nanostructure con la temperatura ed il controllo ambiente precisi. Il centro egualmente alloggia altri laboratori per il nanophotonics, crescita dei cristalli, elettronica molecolare, MEMS e NEMS, l'analisi di superficie, SEM/TEM e caratterizzazione elettrica. Inoltre, ha una funzione unica dell'incubatrice di nanotecnologia per il trasferimento di tecnologia e di interazione con l'industria.

Dott. Rainer Beccard, Vendita a AIXTRON, ulteriori osservazioni di Vicepresidente. “Mentre la ricerca ha progredito verso il raggiungimento della Legge di Moore con la possibilità di introdurre i materiali di III-V come materiale del canale dell'unità, gli altri materiali del canale basati su carbonio egualmente ora stanno studiandi come opzioni future. La strumentazione di MOCVD del disgaggio del 300mm-wafer di AIXTRON già è stata utilizzata ad altre posizioni per i materiali del canale di III-V. Con l'implementazione unica della capacità di CNT/graphene/ALD a Purdue, i ricercatori possono anche esplorare le sfide dei nanomaterials d'integrazione del carbonio nel canale dell'unità.„

Last Update: 13. January 2012 01:32

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