AIXTRON Ontvangt Orde voor het Systeem van het Deposito van de Zwarte Kunst van het Centrum van de Nanotechnologie van Birck van de Universiteit Purdue

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

AIXTRON AG kondigde vandaag een orde voor één het depositosysteem van de Zwarte Kunst van aan het Centrum van de Nanotechnologie van Birck van de Universiteit Purdue in West-Lafayette, BINNEN, de V.S. De orde is voor een de configuratiesysteem van het 2 duimwafeltje voor het deposito van koolstofnanomaterials en oxyden hoog-k door atoomlaagdeposito (ALD). De orde werd ontvangen in het vierde trimester van 2009 en het systeem zal in het tweede trimester van 2010 worden geleverd.

Terwijl het erkennen van het Bureau van het Onderzoek van het Leger voor de steun van dit project door de Afdeling van de V.S. van Van de Defensie durip- programma, Verwante Professor Peide Ye van Universitaire commentaren Purdue, het „Platform van de Zwarte Kunst CVD/PECVD is essentieel voor onze aan de gang zijnde geavanceerde CMOS het onderzoekprojecten van de apparatenkarakterisering. Dit first-of-a-kind systeem van dubbel-configuratieCVD zal ons aan niet alleen toestaan om CNT en graphene deposito uit te voeren maar ook oxyden voor te bereiden hoog-k door ALD in situ. Het Hebben van dit unieke vermogen in Birck betekent dat wij koolstof/op oxyde-gebaseerde materialen voor de kanalen van het volgende-generatieapparaat zullen kunnen optimaliseren. Het voordeel om het oxyde voor te bereiden in situ direct na de kanaalgroei is dat het verontreiniging en opgesloten last elimineert, die tot schonere kanaal/oxydeinterfaces en betere apparatenprestaties potentieel leiden.“

Geopend in Juli 2005, $58 miljoen, sq 187.000. voet, het Centrum van de Nanotechnologie Birck omvat sq 25.000. voet de nanofabricatiecleanroom van Klasse 1-10-100 - het Laboratorium van de Nanofabricatie Scifres. De faciliteit heeft vele overzichtseigenschappen zoals speciale lage trillingsruimten voor nanostructureonderzoek met nauwkeurige temperatuur en milieucontrole. Het centrum huisvest ook andere laboratoria voor nanophotonics, de kristalgroei, moleculaire elektronika, MEMS en NEMS, oppervlakteanalyse, SEM/TEM en elektrokarakterisering. Bovendien heeft het een unieke faciliteit van de nanotechnologieincubator voor interactie en technologieoverdracht met de industrie.

Dr. Rainer Beccard, Ondervoorzitter Marketing bij AIXTRON, verdere commentaren. „Terwijl het onderzoek naar het bereiken van de Wet van Moore met de mogelijkheid om IIIV materialen als materiaal van het apparatenkanaal te introduceren is gevorderd, worden de andere kanaalmaterialen die op koolstof worden gebaseerd ook nu onderzocht als toekomstige opties. Het 300mm-wafeltje van AIXTRON schaalMOCVD de apparatuur is reeds gebruikt bij andere plaatsen voor IIIV kanaalmaterialen. Met de unieke implementatie van vermogen CNT/graphene/ALD in Purdue, kunnen de onderzoekers de uitdagingen van het integreren koolstofnanomaterials in het apparatenkanaal ook onderzoeken.“

Last Update: 13. January 2012 01:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit