Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

There is 1 related live offer.

5% Off SEM, TEM, FIB or Dual Beam

AIXTRON Mottar Order for Black Magic Nedfall System fra Purdue University Bircks Nanoteknologi Center

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

AIXTRON AG annonserte i dag en ordre for en Black Magic deponering system fra Purdue University Bircks Nanoteknologi Center i West Lafayette, IN, USA. Ordren er for en 2 tommers wafer konfigurasjon system for deponering av karbon nanomaterialer og high-k oksider av atom lag nedfall (ALD). Ordren ble mottatt i fjerde kvartal 2009, og systemet vil bli levert i andre kvartal 2010.

Mens anerkjenner Army Research Office til støtte for dette prosjektet gjennom det amerikanske Department of Defense er DURIP program, førsteamanuensis Peide Ye av Purdue University kommentarer, "The Black Magic CVD / PECVD plattformen er avgjørende for vår pågående avansert CMOS-enhet karakterisering forskningsprosjekter. Denne første-of-a-kind dual-konfigurasjon CVD system vil tillate oss å ikke bare å gjennomføre CNT og graphene deponering men også for å forberede high-k oksider av ALD in-situ. Å ha denne unike muligheten ved Bircks betyr at vi vil kunne optimalisere karbon / oksid-baserte materialer for neste generasjons enhet kanaler. Fordelen med å forberede oksid in-situ rett etter kanal vekst er at det potensielt eliminerer forurensning og fanget ladning, som fører til renere kanal / oksid grensesnitt og bedre enhetens ytelse. "

Åpnet i juli 2005, på $ 58 millioner, 187 000 sq, inkluderer Bircks Nanoteknologi Center en 25.000 sq Class 1-10-100 nanofabrication renrom - den Scifres Nanofabrication Laboratory. Anlegget har mange state-of-the-art funksjoner som spesielle lave vibrasjoner rom for nanostrukturen forskning med presis temperatur og miljø kontroll. Senteret huser også andre laboratorier for nanofotonikk, krystall vekst, molekylær elektronikk, MEMS og NEMS, overflate analyse, SEM / TEM og elektrisk karakterisering. I tillegg har den en unik nanoteknologi inkubator anlegg for samhandling og tech transfer med industrien.

Dr. Rainer Beccard, Vice President Marketing hos AIXTRON, ytterligere kommentarer. "Mens forskning har kommet mot å oppnå Moores lov med muligheten for å innføre III-V materialer som enhet kanal materiale, den andre kanalen materialer basert på karbon er også nå under etterforskning som fremtidige valg. AIXTRON er 300mm-wafer skala MOCVD utstyret er allerede brukt på andre steder for III-V kanal materialer. Med den unike implementering av CNT / graphene / ALD kapasitet ved Purdue, kan forskerne også utforske utfordringer med å integrere karbon nanomaterialer i enheten kanalen. "

Last Update: 14. October 2011 11:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit