Aixtron получила заказ на Черном системы осаждения Магия от Бирка центра нанотехнологий университета Пердью в

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

Aixtron AG сегодня объявила заказ на один Черный системы осаждения Магия от Бирка Purdue университета центра нанотехнологий в Уэст-Лафайетт, Индиана, США. Заказ на 2 дюйма конфигурации системы пластины для осаждения углеродных наноматериалов и High-K оксидов молекулярного наслаивания (ALD). Приказ был получен в четвертом квартале 2009 года, и система будет поставляться во втором квартале 2010 года.

Признавая Управления армии исследований за поддержку этого проекта через департамент США DURIP программы обороны, доцент Peide Е. из Purdue комментарии университета, "Черная магия сердечно-сосудистых заболеваний / PECVD платформы является жизненно важным для нашей постоянной передовые устройства CMOS проектов характеристика исследования. Это первый в своем роде двойной конфигурации ССЗ системы позволит не только проводить УНТ и графена отложения, но и подготовить к высоким оксидов ALD на месте. Имея это уникальная возможность на Бирка означает, что мы сможем оптимизировать углерода / на основе оксида материалы для следующего поколения устройств каналов. Преимущество подготовки оксида на месте сразу после канала роста является то, что потенциально устраняет загрязнения и захваченных заряда, что приводит к более чистым канала / оксид и лучше производительность устройства. "

Открытый в июле 2005 года 58 миллионов долларов, 187 тысяч квадратных футов, Бирка Нанотехнологии Центр включает в себя 25 000 квадратных футов класса 1-10-100 нанофабрикации чистом помещении - лаборатории Scifres Nanofabrication. Объект имеет множество состоянии современных функций, таких как специальные номера низкой вибрации для исследования наноструктур с точной температуры и контроля окружающей среды. Центр также дома других лабораторий для нанофотоники, рост кристаллов, молекулярной электронике, МЭМС и НЭМС, поверхностный анализ, SEM / TEM и электрические характеристики. Кроме того, она обладает уникальной нанотехнологии инкубатор средство для взаимодействия и передачи технологий с промышленностью.

Д-р Райнер Beccard, вице-президент по маркетингу в Aixtron, дальнейшие комментарии. "Хотя исследования продвинулись в достижении Закон Мура с возможностью введения III-V материалов, устройство каналов материал, другие материалы, канал на основе углерода, также в настоящее время расследуется, как будущих вариантов. 300-пластины Aixtron в масштабе MOCVD оборудование уже используется в других местах для III-V материалов канала. Благодаря уникальному реализации УНТ / графен / ALD возможности в Пердью, исследователи могут также изучить проблемы интеграции углеродных наноматериалов в устройстве канала ".

Last Update: 11. October 2011 17:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit