Site Sponsors
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

منجزة الأكبر في العالم أشباه الموصلات مسبك أوامر كارل زايس حلقة إصلاح قناع والحل التحقق للعقدة 32nm

Published on March 30, 2010 at 3:16 AM

وقد وضعت في العالم أكبر مسبك أشباه الموصلات من تايوان أمر مجتمعة للالاستحقاق العيب قناع إصلاح نظام ® الموارد البشرية (32) وصورة نظام القياس الجوي المتكاملة ™ 32 - 193i من كارل زايس للتحضير لإنتاج المقبل (Photomask) الزجاجية الراقية جيل.

AIMS 32 - 193i والجدارة HR 32 تمكين إنتاج صفر عيب (Photomask) الزجاجية في عقدة 32nm وخارجها.

"باعتبارها واحدة من مسابك الأكثر تقدما وعملائنا للاستثمار استراتيجي لضمان صفر الإنتاج الضوئية الرئيسية لعيب العقد 32 و 22nm المقبلة. لإدخال تكنولوجيا العقد المقبل الجيل الجديد من أنظمة المتكاملة وسام الاستحقاق من العناصر الأساسية لضمان تصنيع عالية الجودة (Photomask) الزجاجية مع العيوب من الصفر. "ويوضح الدكتور أوليفر كينزلي ، المدير التنفيذي لقسم الرسائل القصيرة من كارل زايس سمت.

وفي العام الماضي أطلقت كارل زايس تأهيل قناع ونظم إصلاح للعقدة 32nm. "هي راسخة AIMS والجدارة في السوق باعتبارها حلقة مغلقة حل للأقنعة حرة عيب ، وخصوصا في عقدة 65nm والمصنعة بتقنية 45nm. وذلك بفضل تعاون وثيق مع العملاء الرئيسيين نتمكن من تطوير تكنولوجيا متقدمة لزيادة استخلاص نظم قوية الجيل القادم ". كينزلي لا يزال مستمرا. انه يسلط الضوء على أن العملاء نقدر بشكل خاص نظام الإضاءة مرنة تماما AIMS 32 - 193i ومفهوم جديد منصة عالية الاستقرار للنظام الموارد البشرية للتمديد الاستحقاق 32 إلى تكنولوجيات المستقبل بما في ذلك فوق البنفسجي.

الإلكترونية شعاع قناع إصلاح نظام يستند الاستحقاق HR32 توظف استراتيجيتين في موازية لتلبية متطلبات الطباعة الحجرية 32 نانومتر. يتم تناول نوعية إصلاح المطلوب من حيث القرار ودقة التنسيب من قبل منصة البريد شعاع رواية يتضمن تسيطر بنشاط مصغرة البيئة. هذه الميزة يوفر مستوى عال من الاستقرار الحرارية والميكانيكية. المعززة البريد شعاع عملية يساعده مرنة ، ونظام عملية عالية القدرة لتوريد الغاز يحسن الاستقرار والحد الأدنى لحجم حفر إصلاح. وعلاوة على ذلك فإنه يمكن التكنولوجيات الجديدة ، وقناع مثل تحديا من نوع OMOG وأقنعة فوق البنفسجي. التكنولوجيا الاستحقاق يبني حلقة مغلقة حل مع ™ المتكاملة لإصلاح الخلل والتحقق إصلاح. والجديد يهدف 32 - 193i تمكن محاكاة دقيقة من تقنيات الطباعة الحجرية 32nm مثل نقرا زخرفة التكنولوجيا ، مصدر الأمثل قناع والطباعة الحجرية الحاسوبية.

استنادا إلى خبرة واسعة من كارل زايس عدسة مع تقنيات الماسح الضوئي الماسح الضوئي نظام يضمن أداء مثل التصوير من جديد ليتو ® البصريات الصف. نظام الإضاءة المتقدمة يسمح للمضاهاة جميع أنواع إعدادات الإضاءة 193nm. للمرة الأولى في التاريخ المتكاملة انتقال المتغير في الإضاءة تلميذ يتوفر الآن مع أهداف 32 - 193i.

Last Update: 3. October 2011 11:49

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit