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PNNL et l'AIST Arrêté sur les lieux pour ORION PLUS hélium-ion microscopes de Carl Zeiss

Published on March 31, 2010 at 6:46 PM

Le Pacific Northwest National Laboratory (PNNL), situé à Richland, Washington, apporte une ORION ® PLUS instrument dans le Département américain de l'Énergie de l'environnement moléculaire de laboratoire en sciences comme une ressource. Et, à Tsukuba, au Japon, l'Institut national de science industrielle avancée et de la Technologie (AIST) a choisi une ORION PLUS pour leur centre de recherche de nouveaux Nanodevice innovation. Ces installations fournissent des preuves supplémentaires d'une dépendance croissante à l'hélium-ion de microscopie pour la recherche la plus exigeante dans les matériaux, sciences de la vie et les applications semi-conducteurs.

Une des priorités de EMSL est à la recherche minière au minérales et aux filaments microbiens. Cette image montre des filaments ORION minérale s'interpénètrent silicium poreux. Même si le non couché, l'échantillon d'isolation souffert de chargement lorsque imagée par un microscope électronique à balayage (MEB), le microscope hélium-ion produit des images de résolution supérieure avec pas de problèmes de chargement.

PNNL est devenu le premier laboratoire national américain d'acquérir une ZEISS ORION PLUS hélium-ion microscope. L'un des département de l'Énergie (DOE) des laboratoires nationaux dix, géré par l'Office of Science du DOE, PNNL offre un environnement ouvert et collaboratif pour la découverte scientifique à des chercheurs du monde entier. «Nous sommes très enthousiastes à l'idée d'ajouter un microscope hélium-ion à notre arsenal de pointe instruments scientifiques", a déclaré Shuttha Shutthanadan, chercheur à l'environnement Laboratoire des Sciences Moléculaires (EMSL), une installation à usage scientifique national situé à PNNL. «Fondamentalement, l'hélium-microscopie ionique améliore notre vision à l'échelle nanométrique, nous permettant de voir les choses que nous n'aurions jamais vu avant. Ayant accès à un instrument qui fournit du record du monde d'imagerie résolution spatiale, ainsi qu'un contraste d'image élevée et une grande profondeur de champ va permettre à nos utilisateurs afin d'accélérer leurs innovations. "

Weilin Jiang, chercheur EMSL, ajoute: «Peut-être l'un des grands avantages de l'hélium-microscopie ionique est la capacité à bien l'image des matériaux isolants non couché." Cela évite beaucoup de temps la résolution pratique, la diminution du revêtement d'un échantillon pour faire face à son chargement. L'outil est prévu pour la livraison à la fin de Mars de cette année.

A l'AIST prestigieux à Tsukuba, au Japon, l'acceptation officielle de leur nouvelle ORION PLUS microscope a été achevée le 8 Février de cette année. Le système est équipé de l'AIST toutes les options disponibles, y compris le détecteur de Spectra a récemment développé. Un système de gaz nouvellement conçu par injection seront ajoutés prochainement. «L'installation et l'acceptation ont été achevées rapidement et sans problèmes majeurs, dont un voyage spectaculaire par une grue sur un balcon au quatrième étage de l'immeuble AIST", rapporte David Voci, directeur Carl Zeiss SMT de développement des affaires pour le produit ORION. AIST utiliser l'outil à l'appui de leurs recherches dans la technologie de génération de semi-conducteurs prochain, ainsi que pour les applications de l'énergie propre.

Les thèmes de recherche identifiés comprennent Low K diélectriques, EUV photomasque la métrologie, la lithographie par nano-impression, de nanotubes de carbone et de la recherche dispositif de graphène, ainsi que des applications à l'appui de recherches sur les cellules solaires et de carburant. L'instrument est situé dans une installation d'utilisateurs qui seront éventuellement disponibles à tous les chercheurs AIST pour une large gamme d'utilisations allant de semi-conducteurs pour les applications des sciences du vivant. «Le système de l'AIST a été le premier plus ORION microscope livré qui a été conçu et construit pour atteindre les spécifications de la sonde 0.35nm taille. Le ORION PLUS EMSL instrument est le second outil de cette génération, et nous sommes confiants que notre équipe de production et de service sur le terrain permettra d'accomplir cette installation aussi bien que le système de l'AIST, »commente Voci.

Last Update: 10. October 2011 12:02

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