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カールツァイスからのヘリウムイオン顕微鏡とオリオンのための PNNL および AIST の場所の発注

Published on March 31, 2010 at 6:46 PM

Richland に、ワシントン州ある (PNNL)、太平洋の北西国立研究所はリソースとして環境の分子科学研究所米国エネルギー省に器械と ORION® を持って来ています。 そして、筑波で、日本の高度の産業科学技術 (AIST) の各国用の協会は新しい Nanodevice の革新の研究所にオリオンのプラスを選びました。 これらのインストールは材料、生命科学および半導体のアプリケーションの最もデマンドが高い研究にヘリウムイオン顕微鏡検査で成長する信頼のそれ以上の証拠を提供します。

EMSL の優先順位の 1 つは微生物フィラメントへミネラルおよびミネラルへ鉱物を研究することです。 オリオンのこの画像は多孔性のケイ素を相互貫入するミネラルフィラメントを示します。 視覚化された場合苦しんだ光沢が無い、絶縁のサンプルがヘリウムイオン顕微鏡充満問題無しで (SEM)走査型電子顕微鏡によって充満に優秀な解像度の画像を作り出したのに。

PNNL はヘリウムイオン顕微鏡とツァイスオリオンを得る最初の米国の国立研究所になりました。 雌ジカの科学のオフィスによって管理される世界中で研究者に 10 の国立研究所エネルギー省の 1 つは PNNL 科学的な発見のための開いた、共同の環境を提供します。 「私達は非常に興奮します先端の科学器械の私達の工廠にヘリウムイオン顕微鏡を追加するために」 Shuttha Shutthanadan、環境の分子科学研究所、 PNNL に (EMSL)あった各国用の科学的なユーザー機能の科学者を言いました。 「基本的に、ヘリウムイオン顕微鏡検査は nanoscale で私達の視野を改善しま、私達が決して前に見ることができない事を見ることを私達を許可します。 持っていることは世界レコード空間分解能イメージ投射、プラスの高い画像の対照および大きい被写界深度を提供する器械へのアクセスを彼らの革新を加速することを可能にします私達のユーザーが」。

Weilin 江、 EMSL の科学者は、付け加えます、 「ヘリウムイオン顕微鏡検査の最も大きい利点の多分 1 です能力はっきり画像の光沢が無い絶縁体」。 これは充満を取扱うために時間のかかるのの解像度のサンプルのコーティングの減少の方法避けます。 ツールは今年の 3 月の終わりに配達のためにスケジュールされます。

筑波の著名な AIST で、日本は今年の 2 月 8 日に、顕微鏡と新しいオリオンの正式受諾完了しました。 AIST システムは最近開発されたスペクトルの探知器を含む使用できるオプションすべてと、準備されます。 最近設計されていたガスの注入システムはやがて追加されます。 「インストールおよび受諾は AIST の建物の第 4 床のバルコニーへのクレーンによって急速におよび劇的なトリップを含む大きな問題なしで、完了しました」、ディレクターレポートデイヴィッド Voci、オリオンの製品のための事業開発のカールツァイス SMT。 AIST は次世代の半導体技術に、またクリーンエネルギーアプリケーションのために研究を助けてツールを使用します。

識別される研究トピックは太陽および燃料電池の研究を助けて低い K の誘電体、 EUV のフォトマスクの度量衡学、 nano 押印の石版印刷、カーボン nanotube および graphene 装置研究、またアプリケーション含んでいます。 器械は結局半導体からの生命科学アプリケーションに使用の広い範囲のためにすべての AIST の研究者に使用できるユーザー機能に置かれます。 「AIST システムは渡された 0.35nm プローブのサイズの指定を達成するように設計され、構築された顕微鏡と最初のオリオンでした。 器械と EMSL オリオンはこの生成の第 2 ツールであり、私達の生産および現場使用のチームが AIST システムと同じようにこのインストールを同様にうまく達成すること私達は確信しています」、コメントします Voci。

Last Update: 12. January 2012 23:32

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