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オックスフォードインスツルメンツプラズマ技術は、ロバートボッシュから五モジュールクラスタツールのを受注

Published on April 1, 2010 at 5:41 AM

オックスフォードインスツルメンツプラズマテクノロジー(OIPTは)ちょうどロバートボッシュ、太陽電池の世界有数のメーカーは、最高で5つのモジュールクラスタツールの契約を獲得した。

System100Pro蒸着ツールは、複数のプロセスステップが真空破壊することなく実施できるように、いくつかの成膜技術のために"六角ハンドラ"の提供機能です。クラスタツールは、真空破壊することなく、材料の仕事関数と写真の電圧のin - situ測定機能のためにケルビンプローブを統合するためのオプションがあります。

OIPTクラスタシステムは、高真空の減少の背景の汚染レベルで、その結果ハンドラとプロセスモジュールのオプション、およびクラスタの異なる堆積技術に機能を提供しています。ボッシュのシステムは、このように、プロセスの開始時に潜在的な被害を最小限に抑え、高温の基板テーブルの最大700 º Cのオプション、およびソフトウェア内にランプ電力の柔軟性を、組み込まれています。

シュトゥットガルトに拠点を置く、ドイツは、ボッシュが開発、製造、販売して狭い出力許容誤差と高い、安定した出力を特徴としているウエハベースと薄膜シリコン太陽電池を。同社は研究開発で使用するためにOIPTクラスタのツールを購入しています。

再生可能な手段でエネルギーを発生させるに向かって増加傾向で、OIPTは成長しているPV R&D市場の主要サプライヤーとしての地位を確立しており、より昨年に比べてこの分野での売上高を倍増している。

Last Update: 9. October 2011 04:32

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