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Los Papeles de la Tecnología Evalúan las Tecnologías Avanzadas para Utilizar los Nuevos Materiales de III-V

Published on April 2, 2010 at 7:19 PM

Haciendo Frente a dificultades financieras y a retos técnicos serios, la industria del semiconductor debe practicar la colaboración creativa para sobrevivir, crecer, y conexión a las industrias emergentes, el Presidente y Director General Dan Armbrust de SEMATECH dijo en un discurso principal reciente a la Conferencia de la Preparación Superficial y de la Limpieza de SEMATECH 2010 (SPCC) en Austin, TX.

“Nuestro éxito como industria dependerá conectado como de bien innovamos en el R&D colaborativo,” Armbrust dijo. “Necesitamos ser arranques de cinta en la aplicación de capacidades del semiconductor a las tecnologías emergentes.”

Armbrust dijo que mientras que la economía total aparece mejorar, la industria de la viruta continúa atacar con la consolidación, costos de levantamiento del R&D, aplanando incremento de los ingresos, y metas técnicas cada vez más difíciles. Dado estas condiciones, las colaboraciones se están validando cada vez más como necesario y estrategia empresarial de poco costo, él observó.

La “Colaboración es el camino a la supervivencia e incremento en una industria cambiante,” Armbrust informó asistentes de la conferencia a aproximadamente 150. “Los retos son globales y corte a través de sectores industriales. Las Soluciones requieren la inversión importante y el financiamiento apalancado. Necesitamos animar nuevos experimentos en colaboraciones creativas de la cooperación -, alianzas del industria-universidad-gobierno, y convergencia interdisciplinarias e interregionales con tecnologías emergentes e industrias.”

Armbrust dijo que la industria del semiconductor ha sido un pionero colaborativo, formando los consorcios para compartir recursos, los costos, y los riesgos; desarrollar un mapa itinerario de la industria; sujetar los foros para el diálogo de la industria y el logro de un consenso; y creando patrones y la infraestructura para las transiciones importantes de la tecnología.

“Solamente podemos hacer incluso mejor,” él declaró, explorando nuevas maneras de traer la investigación de la universidad en la corriente principal de la industria, desarrollando nuevas sociedades entre los fabricantes de chips y los fabricantes del equipo y de los materiales para acelerar la comercialización, y formando colaboraciones con industrias emergentes en nanoelectronics, energía, y biotecnología.

Los “Semiconductores son el asiento de estas nuevas industrias,” Armbrust dijo. La “fabricación del Silicio se puede aplicar a la fabricación del nanodevice. Nuestro conocimiento material se aplica al revelado de la película material y fina. Y la experiencia de nuestra industria en la física material y la ciencia fundamental es relevante a los sistemas y al revelado elegantes del dispositivo.”

Dentro de la industria de la viruta, Armbrust dijo que SEMATECH ha estado redefiniendo la colaboración ofreciendo varias nuevas avenidas del combate:

  • Programe las calidades de miembro que alinean el R&D consortial con las necesidades tempranas del desarrollo de productos de los surtidores. Dos ejemplos son SEMATECH Resisten el Centro de Desarrollo de los Materiales y el Centro de Desarrollo del Espacio En Blanco de la Máscara en la Universidad de la Ciencia de Nanoscale y de la Ingeniería de la Universidad en Albany.
  • Estructuras Flexibles del programa que permiten a los fabricantes de chips, surtidores, fabless, y compañías del ensamblaje/de empaquetado a engancharse con SEMATECH co-para acelerar el revelado del equipo comercial y de los materiales estándar.
  • El consorcio nuevamente puesto en marcha de la Infraestructura de la Máscara de SEMATECH EUV, con las piezas iniciales comprometidas a determinar y a cerrar ediciones infraestructurales en EUV enmascara la metrología
  • La Participación a través de sectores industriales en desarrollar 3D interconecta usando el juego-cambiador vias-an de la industria del por-silicio que activa incremento de productividad de sistema aparte de la graduación a escala y permiso la integración heterogénea de las nuevas aplicaciones de la sistema-en-viruta
  • Ambiente, iniciativas de la seguridad y sanidad (ESH) para impulsar la fabricación sostenible y para reducir la huella ambiental de la industria con la protección de la energía y del recurso, alineación de la cadena de suministro, revelado de proceso respetuoso del medio ambiente, y otras dimensiones. El Centro de Tecnología del ESH de SEMATECH de la Iniciativa Internacional de la Fabricación fue formado para ayudar a fabricantes y a surtidores del dispositivo a perseguir tales objetivos
  • Colaboraciones con más de 80 universidades por todo el mundo para perseguir proyectos en tecnologías críticas de la lógica y de memoria - incluyendo las áreas tales como los materiales avanzados, los dispositivos y los materiales avanzados poste-CMOS y las estructuras. Cada universidad trabaja con SEMATECH para co-desarrollar los procesos que llevan a las herramientas comerciales.

Los comentarios de Armbrust precedieron casi 30 presentaciones técnicas marginales de los surtidores de la industria, FEP, e Iniciativa Internacional de la Fabricación de SEMATECH (ISMI). Incluyeron:

  • Un documento invitado sobre el éxito de FEP al usar la generación en segundo lugar armónica (SHG) para evaluar los efectos de diversa superficie limpia y los tratamientos de la pasivación en el arseniuro de galio del indio (InGaAs) fueron entregados por el Dr. Jimmy Price, Estado Mayor Técnico de la Pieza. El Precio dijo la capacidad de caracterizar exactamente superficies e interfaces de III-V usando SHGhighlights el potencial de esta técnica como un sistema en línea de la metrología conveniente para la fabricación InGaAs-basada de la viruta. “Ahora tenemos un método no invasor que los representantes técnicos del proceso y del dispositivo puedan confiar conectado para vigilar la calidad de las superficies y de los interfaces de III-V,” él observamos.
  • Un estudio de la evaluación comparativa de Michael Frisch, del Gestor de Proyecto de EHS para la Iniciativa Internacional de la Fabricación de SEMATECH (ISMI), en las oportunidades para reciclar y reclamar fabuloso y las aguas residuales de la prueba del ensamblaje. El estudio de Frisch mostró las oportunidades del reciclaje y de la reclamación para salvar 5,1 mil millones galones por año (gpy) en los sitios fabulosos de la compañía de la pieza, y 217 millones gpy en los sitios de prueba del ensamblaje. Para explotar este potencial, el estudio recomendó el centrarse en el reciclaje de las aguas de proceso de la aclaración y reclamar las aguas residuales a granel en los fabs de la pieza.
  • Un análisis del Dr. Casey Smith del gestor de proyecto de FEP de la preparación superficial y limpia los retos para las tecnologías emergentes. Graphene aparece ser un material prometedor del canal para las aplicaciones del RF del no-silicio, aunque los contaminantes deban ser controlados sin químicas oxidantes evitar daño al material, Smith observó. Para las tecnologías no planares tales como transistores del efecto de campo de la multi-entrada (MuGFETs), la modificación cuidadosa del limpia serie es necesaria formar las entradas sin residuo 3D, especialmente para los planes apretados del tono.
  • La Colina del Dr. Richard, representante técnico del dispositivo de FEP, contorneó las oportunidades y los retos si los MOSFETs de III-V. La Colina dijo, “Está llegando a ser más desafiadora para continuar escalar el silicio sin sacrificios en movilidad y velocidad. Usted puede todavía escalar con silicio, pero viene en un costo.” Por El Contrario, los canales de III-V ofrecen ventajas importantes del funcionamiento, tales como movilidad más alta y corriente de mecanismo impulsor aumentada, que permitirán el escalamiento y la mejoría continuados del funcionamiento. La Colina calificó su optimismo, sin embargo, discutiendo los retos de la integración que sigue habiendo, el ser más grande calidad dieléctrica del interfaz.

Por más de 10 años, SPCC ha reunido a investigadores destacados de la industria y academia para centrarse en retos en la limpieza avanzada del fulminante y de la máscara y la preparación superficial. SPCC es parte del conjunto de las Series-uno del Conocimiento de SEMATECH de las oportunidades únicas que se centran en las soluciones acelerantes para los retos críticos en la industria del nanoelectronics.

Last Update: 12. January 2012 23:45

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