Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

De technologie- Documenten Beoordelen Geavanceerde Technologieën voor het Gebruiken van Nieuwe IIIV Materialen

Published on April 2, 2010 at 7:19 PM

Staand voor financiële beperkingen en ernstige technische uitdagingen, moet de halfgeleiderindustrie creatieve samenwerking uitoefenen om te overleven, te groeien, en verbindt met de nieuwe industrieën, zeiden de Voorzitter SEMATECH en CEO Dan Armbrust in een recent essentieel adres aan de Voorbereiding van de Oppervlakte van 2010 van SEMATECH en Schoonmakende Conferentie (SPCC) in Austin, TX.

„Ons succes aangezien de industrie zal afhangen van hoe goed vernieuwen wij in samenwerkingsR&D,“ bovengenoemde Armbrust. „Wij moeten leiders zijn in het toepassen van halfgeleidermogelijkheden op nieuwe technologieën.“

Armbrust zei dat terwijl de algemene economie schijnt te verbeteren, de spaanderindustrie met consolidatie blijft vastgrijpen, de toenemende kosten van R&D, die de opbrengstgroei, en meer en meer moeilijke technische doelstellingen afvlakken. Gezien deze voorwaarden, worden de samenwerking meer en meer toegelaten als noodzakelijke en rendabele bedrijfsstrategie, nam van hij nota.

De „Samenwerking is de weg aan overleving en de groei in de veranderende industrie,“ Armbrust vertelde ongeveer 150 conferentieaanwezigen. De „uitdagingen zijn globaal en snijden overdwars de industriesectoren. De Oplossingen vereisen significante investering en leveraged financiering. Wij moeten nieuwe experimenten in creatieve samenwerking aanmoedigen - interdisciplinaire en interregionale samenwerking, industrie-universitair-overheid allianties, en convergentie met nieuwe technologieën en de industrieën.“

Armbrust zei de halfgeleiderindustrie samenwerkingstrailblazer is geweest, vormt consortiums om middelen te delen, kosten, en risico's; het ontwikkelen van de industrie roadmap; holdings forums voor de industriedialoog en consensueel; en creërend normen en infrastructuur voor belangrijke technologieovergangen.

„Maar wij kunnen nog beter doen,“ hij verklaarde, door nieuwe manieren te onderzoeken om universitair onderzoek naar de de industrieheersende stroming te brengen die, die nieuwe vennootschappen tussen chipmakers en uitrusting en materialenfabrikanten ontwikkelt om introductie op de markt te versnellen, en samenwerking met de nieuwe industrieën in nanoelectronics, energie, en biotechnologie vormt.

De „Halfgeleiders zijn de stichting van deze nieuwe industrieën,“ bovengenoemde Armbrust. De „vervaardiging van het Silicium kan op nanodevicevervaardiging worden toegepast. Onze materiële kennis is op materiële en dunne filmontwikkeling van toepassing. En de ervaring van onze industrie in materiële fysica en fundamentele wetenschap is relevant voor slimme systemen en apparatenontwikkeling.“

Binnen de spaanderindustrie, zei Armbrust SEMATECH samenwerking door verscheidene nieuwe wegen van overeenkomst aan te bieden opnieuw heeft gedefinieerd:

  • Het lidmaatschap van het Programma dat consortial R&D op behoeften van de het productontwikkeling van leveranciers de vroege richt. Twee voorbeelden zijn SEMATECH Verzetten zich tegen het Centrum van de Ontwikkeling van Materialen en het Centrum van de Ontwikkeling van het Masker Lege bij de Universiteit van Wetenschap Nanoscale en Techniek van de Universiteit in Albany.
  • Flexibele programmastructuren die spaander-makers, leveranciers, fabless, en assemblage/verpakkingsbedrijven met SEMATECH toestaan in dienst nemen om ontwikkeling van commerciële uitrusting en standaardmaterialen mede-te versnellen.
  • Onlangs gelanceerd van SEMATECH het consortium van de Infrastructuur van het Masker EUV, met aanvankelijke leden geëngageerd aan het identificeren van en het sluiten van infrastructurele kwesties in EUV maskeert metrologie
  • De Participatie over de industriesectoren in zich 3D ontwikkelen verbindt het gebruiken van door-silicium onderling een vias-de industrie spel-wisselaar die de groei van de systeemproductiviteit behalve het schrapen toelaat en heterogeene integratie van nieuwe systeem-op-spaander toepassingen toelaat
  • De initiatieven van het Milieu, van de veiligheid en van de gezondheid (ESH) om duurzame productie te drijven en de milieuvoetafdruk van de industrie door energie en middelbehoud, leveringsketen groepering, milieuvriendelijke procesontwikkeling, en andere maatregelen te verminderen. Het Centrum van de Technologie van ESH van het Internationale Verwerkende Initiatief SEMATECH werd gevormd om apparatenfabrikanten en leveranciers te helpen dergelijke doelstellingen nastreven
  • Samenwerking met meer dan 80 universiteiten wereldwijd om projecten in kritieke logica en geheugentechnologieën - met inbegrip van dergelijke gebieden na te streven zoals geavanceerde materialen, geavanceerde apparaten en materialen post-CMOS en structuren. Elke universiteit werkt met SEMATECH om processen samen te ontwikkelen die tot commerciële hulpmiddelen leiden.

Commentaren van Armbrust gingen bijna 30 leading-edge technische presentaties van de industrieleveranciers vooraf, FEP, en het Internationale Initiatief van de Productie SEMATECH (ISMI). Zij omvatten:

  • Een uitgenodigd document op het succes van FEP in het gebruiken van tweede harmonische generatie (SHG) om de gevolgen van verschillende oppervlakte te evalueren maakt schoon en de passiveringsbehandelingen op arsenide van het indiumgallium (InGaAs) werden geleverd door Dr. Jimmy Price, het Technische Personeel van het Lid. De Prijs zei de capaciteit IIIV oppervlakten en interfaces gebruikend SHGhighlights het potentieel van deze techniek als in-line metrologiesysteem nauwkeurig om te kenmerken geschikt voor op inGaAs-Gebaseerde spaander productie. „Wij hebben nu een niet-invasieve methode dat proces en apparaten de ingenieurs kunnen vertrouwen om de kwaliteit van IIIV oppervlakten en interfaces te controleren,“ hij nota namen van.
  • Een evaluerende studie door Michael Frisch, EHS de Projectleider van voor het Internationale Initiatief van de Productie SEMATECH (ISMI), op kansen om te recycleren en terug te winnen fab en de afvalwater van de assemblagetest. Studie van Frisch toonde het recycling van en terugwinning kansen voor besparing 5.1 miljard gallons per jaar (gpy) bij de plaatsen van het lidbedrijf fab, en 217 miljoen gpy bij de plaatsen van de assemblagetest. Om dit potentieel, de geadviseerde studie te ontsluiten zich concentreert op het recycling van de wateren van de processpoeling en het terugwinnen van bulkafvalwater bij lid fabs.
  • Een analyse door FEP projectleider Dr. Casey Smith van oppervlaktevoorbereiding en maakt uitdagingen voor nieuwe technologieën schoon. Graphene schijnt een het beloven kanaalmateriaal voor niet-siliciumRF toepassingen te zijn, hoewel de verontreinigende stoffen moeten worden gecontroleerd zonder chemie te oxyderen om schade aan het materiaal te vermijden, Smith nota nam van. Voor non-planar technologieën zoals multi-poortfield-effect transistors (MuGFETs), de zorgvuldige wijziging van opeenvolging schoon is nodig maakt om 3D poorten zonder residu, vooral voor strakke hoogtelay-outs te vormen.
  • Dr. Richard Hill, FEP apparateningenieur, schetste de kansen en de uitdagingen als IIIV MOSFETs. Bovengenoemde de Heuvel, „Het wordt uitdagend blijven silicium zonder offers in mobiliteit en snelheid schrapen. U kunt nog met silicium schrapen, maar het komt aan kosten.“ Door contrast, bieden IIIV kanalen significante prestatiesvoordelen, zoals hogere mobiliteit en verbeterde aandrijvingsstroom aan, die voortdurende het schrapen en prestatiesverbetering zullen toestaan. De Heuvel kwalificeerde zijn optimisme, echter, door de integratieuitdagingen te bespreken die blijven, grootst zijnd diëlektrische interfacekwaliteit.

meer dan 10 jaar, heeft SPCC belangrijke onderzoekers van de industrie en academia om zich op uitdagingen in geavanceerd wafeltje samengebracht te concentreren en het schoonmaken en oppervlaktevoorbereiding te maskeren. SPCC maakt deel uit van de SEMATECH reeks van de Kennis reeks-A unieke kansen die zich bij het versnellen van oplossingen voor kritieke uitdagingen in de nanoelectronicsindustrie concentreren.

Last Update: 13. January 2012 01:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit