HUST et Vistec Collaborent Pour Augmenter Enseignement et de Recherche sur Nanolithography

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

La Lithographie de Vistec, B.V. est heureuse d'annoncer aujourd'hui qu'elle a signé une convention de partenariat stratégique avec l'Université du Scientifique et Technique Optoélectronique à l'Université Polytechnique de Huazhong à Wuhan, P.R. de la Chine.

Système de lithographie d'électron-poutre de Vistec EBPG5000pES

L'Université Polytechnique de Huazhong (HUST) - une université principale nationale en Lithographie de la Chine et de Vistec - un principal fournisseur des systèmes de lithographie d'électron-poutre collaborera à enseignement et de recherche du nanolithography.

Le noyau de ce projet est le système de lithographie d'électron-poutre de Vistec EBPG5000pES, qui permettra à l'Université du Scientifique et Technique Optoélectronique d'augmenter leur efficacité enseignement et de recherche pour leurs élèves et associés associés de recherches. « Avec le système de structuration neuf nous pouvons renforcer davantage notre principale position en photonics et optoélectronique, qui sont les la plupart des puissantes technologies du 21ème siècle », Prof. indiqué Miao Xiangshui et Prof. Zhou Wenli.

Le Vistec EBPG5000pES est un outil performant de lithographie basé sur l'architecture de système fiable et bien-prouvée. Son fléau électron-optique (source de TFE) étant calibré pour des tensions d'accélération de 50 et de 100kV, le système fournit une taille d'endroit vers le bas à <2.2nm, de ce fait permettant à des structures de nano-lithographie plus petites que 8nm d'être par habitude produites. Le système comporte une interface utilisateur graphique interactive (GUI) qui fournit la simplicité d'utilisation pour divers, multi-utilisatrice, type environnements d'université.

« Nous sommes très fiers d'avoir été sélectés en tant qu'associé par l'Université de Huazhong, le public scientifique grand de HUST et le réseau de recherches est en effet impressionnant », a dit Erwin Mueller, la Lithographie de Directeur Général Vistec, B.V. « Avec la fiabilité rodée en clientèle d'EBPG5000pES aux Universités et aux Instituts de Recherches de bord d'attaque partout dans le monde et basé sur les expériences complètes du personnel de Vistec nous pouvons fournir HUST une bonne base pour poursuivre leur calendrier de lancement stratégique de recherches. Nous attendons avec intérêt encore un autre développement des affaires en Chine. »

Source : http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 13. January 2012 00:06

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