HUSTとヴィステックは、ナノリソグラフィーの研究と教育を強化するために協業

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

ヴィステックリソグラフィーは、BVは、それが武漢で科学技術の華中大学、中国のPRにおける光科学工学の大学との戦略的パートナーシップ契約を締結したことを本日発表しています。

ヴィステックEBPG5000pES電子ビームリソグラフィシステム

科学技術の華中大学(HUST) - 中国とヴィステックリソグラフィーにおける国家重点大学 - 電子ビームリソグラフィーシステムのリーディングサプライヤは、ナノリソグラフィーの研究と教育に協力する。

そのプロジェクトの中核は、光科学と工学の大学は、学生および関連研究パートナの両方のそれらの研究と教育の有効性を高めることを可能にするヴィステックEBPG5000pES電子ビームリソグラフィシステムです。 "新しいパターニングシステムと我々はさらに21世紀の最も強力な技術であるフォトニクスとオプトエレクトロニクス、における当社の主導的地位を強化することができる"、教授苗Xiangshui教授周Wenliは述べています。

ヴィステックEBPG5000pESは信頼と実績のあるシステムアーキテクチャに基づく高性能なリソグラフィツールです。 50〜100kVの加速電圧を定格の電子光学カラム(TFEのソース)と、システムはこのように8nmより小さいナノリソグラフィー構造が日常的に生成できるように、ダウン<2.2nmにスポットサイズを提供します。のシステムは多様、マルチユーザ、大学のタイプの環境のために使いやすさを対話形式のグラフィカルユーザインタフェース(GUI)が組み込まれています。

"我々は、華中大学、HUSTの幅広い科学的な聴衆との研究ネットワークは確かに印象的であるがパートナーとして選ばれたことを非常に誇りに思っている"、ディレクターヴィステックリソグラフィーを管理アーウィンミュラー、、BVは言った。 "世界中の、我々は彼らの戦略的研究のロードマップを追求するために良い基礎をHUST提供することができるヴィステックスタッフの包括的な経験に基づいた最先端の大学研究機関におけるEBPG5000pESのフィールドで実証済みの信頼性と。我々は中国でのさらなる事業拡大に期待しています。"

ソース: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 24. October 2011 05:51

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