Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

HUST en Vistec Werken samen om Onderzoek en Onderwijs op Nanolithography Te Verbeteren

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

Vistec de Lithografie, B.V. is pleased om vandaag aan te kondigen dat het een strategische vennootschapovereenkomst met de Universiteit van Optoelectronic Wetenschap en Techniek bij de Universiteit Huazhong van Wetenschap en Technologie in Wuhan, PR van China ondertekende.

Vistec EBPG5000pES elektron-straal lithografiesysteem

De Universiteit Huazhong van Wetenschap en Technologie (HUST) - een nationale zeer belangrijke universiteit in de Lithografie van China en Vistec - een belangrijke leverancier van elektron-straal lithografiesystemen zal in onderzoek en onderwijs van nanolithography samenwerken.

De kern van dat project is het Vistec EBPG5000pES elektron-straal lithografiesysteem, dat de Universiteit van Optoelectronic Wetenschap en Techniek zal toelaten om hun onderzoek en onderwijsdoeltreffendheid voor zowel hun studenten als geassocieerde onderzoekpartners te verbeteren. „Met het nieuwe het vormen systeem kunnen wij onze belangrijke positie in photonics verder versterken en de opto-elektronica, die de krachtigste technologieën van de 21ste eeuw“ is, verklaarde Prof. Miao Xiangshui en Prof. Zhou Wenli.

Vistec EBPG5000pES is een krachtig lithografiehulpmiddel dat op betrouwbare en goed-bewezen systeemarchitectuur wordt gebaseerd. Met zijn elektron-optische kolom (bron TFE) geschat voor versnellingsvoltages van 50 en 100kV, verstrekt het systeem neer een vlekgrootte aan <2.2nm, waarbij nano-lithografiestructuren kleiner worden toegelaten dan 8nm om uit routine worden geproduceerd. Het systeem neemt een interactief grafisch gebruikersinterface op (GUI) dat handigheid voor diverse, voor meerdere gebruikers, universitaire typemilieu's verstrekt.

„Wij zijn zeer trots om als partner door de Universiteit geselecteerd te zijn Huazhong, zijn het brede wetenschappelijke publiek van HUST en het onderzoeknetwerk inderdaad indrukwekkende“, bovengenoemde Erwin Mueller, het Leiden de Lithografie van Directeur Vistec, B.V. „Met de EBPG5000pES gebied-bewezen betrouwbaarheid in voorrandUniversiteiten en de Onderzoekinstituten van helemaal over de wereld en gebaseerd op de uitvoerige ervaringen van het Vistec personeel kunnen wij HUST verstrekken een goede basis om hun strategisch onderzoek na te streven roadmap. Wij verheugen ons op een verdere bedrijfsuitbreiding in China.“

Bron: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 13. January 2012 00:04

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit