Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

HUST och Vistec Samarbeta att främja forskning och utbildning på Nanolithography

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

Vistec Litografi är BV glädjen att meddela idag att man tecknat ett strategiskt samarbetsavtal med högskolan av Optoelektroniska Science and Engineering vid Huazhong universitet för vetenskap och teknik i Wuhan, PR av Kina.

Vistec EBPG5000pES elektron-stråle litografi systemet

Den Huazhong universitet för vetenskap och teknik (HUST) - ett nationellt viktig universitet i Kina och Vistec Litografi - en ledande leverantör av elektron-stråle litografi system kommer att samarbeta inom forskning och utbildning av nanolithography.

Kärnan i projektet är Vistec EBPG5000pES elektron-stråle litografi system som gör det möjligt för högskolan av Optoelektroniska naturvetenskap och teknik för att förbättra sin forskning och utbildning effektivitet för både elever och associerade partner forskning. "Med den nya mönstring systemet har vi möjlighet att ytterligare stärka vår ledande position inom fotonik och optoelektronik, som är de mest kraftfulla teknologierna av det 21 århundradet", konstaterade professor Miao Xiangshui och professor Zhou Wenli.

Den Vistec EBPG5000pES är en högpresterande litografi verktyg baserat på tillförlitliga och väl beprövade system arkitektur. Med sin elektron optiska kolumn (TFE källa) klassad för acceleration spänningar på 50 och 100kV, ger systemet en plats storlek ner till <2.2nm, så att nano-litografi strukturer mindre än 8nm att rutinmässigt genereras. Systemet innehåller ett interaktivt grafiskt användargränssnitt (GUI) som ger användarvänlighet för olika ändamål, fleranvändarsystem, universitet skriver miljöer.

"Vi är mycket stolta över att ha valts som partner av Huazhong universitet, HUST breda vetenskapliga publiken och forskningsnätverket är verkligen imponerande", säger Erwin Müller, VD Vistec Litografi, BV. "Med EBPG5000pES s beprövade tillförlitlighet i framkant universitet och forskningsinstitut över hela världen och bygger på omfattande erfarenheter av Vistec personal har vi möjlighet att erbjuda HUST en god grund för att fortsätta sin strategiska forskning färdplan. Vi ser fram emot en fortsatt expansion i Kina. "

Källa: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 6. October 2011 16:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit