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华中科技大学和Vistec合作以加强研究和教育上的刻蚀

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

Vistec光刻,BV是今天高兴地宣布,它在武汉,中国公关华中科技大学光电子科学与工程学院签署了战略合作协议。

Vistec EBPG5000pES电子束光刻系统

华中科技大学科学与技术(华中科技大学) - 一个国家重点大学,在中国和Vistec光刻 - 一个电子束光刻系统的领先供应商将在纳米光刻技术的研究和教育合作。

该项目的核心是Vistec EBPG5000pES电子束光刻系统,这将使光电子科学与工程学院,以提高他们的研究和教育的成效,为他们的学生和相关的科研合作伙伴。教授苗响水县和周文利教授说:“有了新的图案系统,我们能够进一步加强我们在光子学和光电子学,这是21世纪最强大的技术领先地位”。

Vistec EBPG5000pES是一个高性能的基于可靠和成熟的系统架构的光刻工具。随着其电子光学柱(TFE源)为加速电压为50和100KV额定系统提供了一个光斑尺寸降低到<2.2nm,从而使纳米光刻结构小于8nm较小,要经常产生。该系统采用交互式图形用户界面(GUI),提供多元化,多用户,大学类型环境的易用性。

“已被选定作为合作伙伴,由华中科技大学,华中科技大学的广泛的科学受众和研究网络确实是令人印象深刻的,我们感到非常自豪”,BV公司,董事总经理Vistec光刻,欧文穆勒说。 “随着EBPG5000pES的领域公认的前沿世界各地和Vistec员工的华中科技大学了良好的基础,追求自己的战略研究路线图,我们能够提供全面的经验为基础的大学和研究机构的可靠性。我们期待着在中国进一步拓展业务。“

来源: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 6. October 2011 16:35

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