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HUST 和 Vistec 合作提高研究和教育在 Nanolithography

Vistec 石版印刷, B.V. 高兴地今天宣布它在 Huazhong 科技大学签署了有战略意义的合伙企业合约与光电子科学和工程学院在武汉,中国的 PR。

Vistec EBPG5000pES 电子射线石版印刷系统

Huazhong 科技大学 (HUST) - 国家关键大学在中国和 Vistec 石版印刷方面 - 电子射线石版印刷系统的一个主导的供应商在 nanolithography 的研究和教育将合作。

该项目的核心是 Vistec EBPG5000pES 电子射线石版印刷系统,将使光电子科学和工程学院提高他们的他们的学员和关联研究合作伙伴的研究和教育效果。 “与新的仿造的系统我们能进一步加强我们的基础地位在 photonics 和光电子学,方面是 21 世纪最强大的技术”,指明的教授 Miao Xiangshui 和周 Wenli 教授。

Vistec EBPG5000pES 是在可靠和证明的系统建筑基础上的一个高性能石版印刷工具。 当其电子光学列 (TFE 来源) 对估计为 50 和 100kV 加速度电压,这个系统小于 8nm 提供一条光点直径下来给 <2.2nm,因而允许纳诺石版印刷结构定期地被生成。 这个系统合并为不同提供易用 (GUI),多用户的一个交互选择图形用户界面,大学类型环境。

“我们非常自豪地被选择了作为合作伙伴由 Huazhong 大学, HUST 的清楚的科学听众,并且研究网络的确是印象深刻的”,说埃尔温米勒,总经理 Vistec 石版印刷, B.V。 “与 EBPG5000pES 现场以证实的可靠性在全世界前沿大学和研究所和基于 Vistec 人员的全面经验我们能提供 HUST 一个好基本类型继续处理他们有战略意义的研究模式。 我们盼望进一步经济高涨在中国”。

来源: http://www.vistec-semi.com/

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