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HUST 和 Vistec 合作提高研究和教育在 Nanolithography

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

Vistec 石版印刷, B.V. 高興地今天宣佈它在 Huazhong 科技大學簽署了有戰略意義的合夥企業合約與光電子科學和工程學院在武漢,中國的 PR。

Vistec EBPG5000pES 電子射線石版印刷系統

Huazhong 科技大學 (HUST) - 國家關鍵大學在中國和 Vistec 石版印刷方面 - 電子射線石版印刷系統的一個主導的供應商在 nanolithography 的研究和教育將合作。

該項目的核心是 Vistec EBPG5000pES 電子射線石版印刷系統,將使光電子科學和工程學院提高他們的他們的學員和關聯研究合作夥伴的研究和教育效果。 「與新的仿造的系統我們能進一步加強我們的基礎地位在 photonics 和光電子學,方面是 21 世紀最強大的技術」,指明的教授 Miao Xiangshui 和周 Wenli 教授。

Vistec EBPG5000pES 是在可靠和證明的系統建築基礎上的一個高性能石版印刷工具。 当其電子光學列 (TFE 來源) 對估計為 50 和 100kV 加速度電壓,這個系統小於 8nm 提供一條光點直徑下來給 <2.2nm,因而允許納諾石版印刷結構定期地被生成。 這個系統合併為不同提供易用 (GUI),多用戶的一個交互選擇圖形用戶界面,大學類型環境。

「我們非常自豪地被選擇了作為合作夥伴由 Huazhong 大學, HUST 的清楚的科學聽眾,并且研究網絡的確是印象深刻的」,說埃爾溫米勒,總經理 Vistec 石版印刷, B.V。 「與 EBPG5000pES 現場以證實的可靠性在全世界前沿大學和研究所和基於 Vistec 人員的全面經驗我們能提供 HUST 一個好基本類型繼續處理他們有戰略意義的研究模式。 我們盼望進一步經濟高漲在中國」。

來源: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 25. January 2012 18:40

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