AIXTRON empfängt Ordnung für Absetzungs-Anlage der Schwarzen Magie-CNT von Delft-Technischer Hochschule

Published on April 20, 2010 at 3:12 AM

AIXTRON AG kündigten heute eine Ordnung für eine Absetzungsanlage der Schwarzen Magie CNT (Kohlenstoff nanotube) von der Delft-Technischen Hochschule, die Niederlande an. Die Anlage ist in eine Waferkonfiguration des Inch 1x4 im Klasse 10.000 Cleanroom des Delft-Instituts der Mikrosysteme und des Nanoelectronics (GROSCHEN) an der Delft-Technischen Hochschule eingebaut.

Vor der Entscheidung Delft-Technische Hochschule wertete verschiedene Hilfsmittel im Hinblick auf Absetzung der niedrigen Temperatur und Anlagenflexibilität, nach Anlage Schwarzer Magie AIXTRONS aus. Professor Ryoichi Ishihara der Fähigkeit der Elektrotechnik, der Mathematik und der Informatik (EEMCS) an den GROSCHEN kommentiert: „Die Anlage der Schwarzen Magie ist ein nachgewiesenes Gerät für CNT-Wachstum. Die Anlage ist flexibel und robust und bietet eine große Auswahl von erreichbaren Fertigungsgenauigkeiten an, um uns zu aktivieren, verschiedene Baumuster von CNT zu produzieren. Diese eindeutigen Merkmale zogen uns für unsere Forschung auf CNT-Wachstum und MEMS-Einheiten.“ an

GROSCHEN hat ein Welt-führendes Ansehen für seine innovativen Leistungen auf dem Gebiet von „Mehr als Moore-“ Technologie festgelegt. Das Forschungsinstitut enthält einige Lehrkörper innerhalb TU Delft und ist für die hohe Qualität seiner Forscher, in hohem Grade erfahrenen permanenten technischen Personals und hochmodernen Geräts weithin bekannt. GROSCHEN ist ein gut ausgerüstetes Institut mit Klasse 100-10,000 Cleanrooms, MEMS-Labor und dem Speziellen Anwendungs-Labor und deckt 1500m2 im Bereich ab.

Last Update: 12. January 2012 23:28

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