공급할 것이다 Bruker는 N8 TITANOS 큰 견본 AFM에 NIST 를 주문을 받아서 만들었습니다

Published on April 26, 2010 at 8:11 PM

Bruker는 오늘 미국 상무부의 국립 표준 기술국 (NIST)에 주문을 받아서 만들어진 N8 TITANOS™ 큰 견본 원자 군대 현미경을 (AFM) 공급하는 $1.1 백만 계약체결을 수여되었다는 것을 알렸습니다. 계기는 트레이스 할 수 있는 AFM (T-AFM)를 요구하는 도량형학 (PED) 응용에 주요 초점과 더불어 그것의 제조 기술설계 실험실에 NIST의 정밀도 엔지니어 부서에 의해, 사용될 것입니다.

T-AFM 계기는 반도체 제조와 같은 기업에 있는 고객을 광학 및 photonics, 자료 기억 장치 및 biomedical 봉사하는 NIST를 기본적인 트레이스 할 수 있는 nanoscale 길이 도량형학을 제공할 것입니다. 계기는 NIST의 Gaithersburg 의 MD 기능에 설치되고 고도 피치 표면 거칠기 및 선폭 소밀과 같은 각종 매개변수를 측정하기 위하여 사용될 것입니다. 필수품은 모든 3개의 도끼에 있는 633 nm 파장에 의하여 요오드화물 안정된 그 Ne 레이저를 사용하여 레이저 간섭 측정을 통해 실행되는 미터의 SI (단위계 국제적인) 정의에 트레이스 할 수 있는 내장된 도량형학입니다.

Bruker는 향상한 공간 분해능과 더불어 2009년 12월에 차세대 N8 TITANOS를, 알리고 큰 웨이퍼를 위한 걸출한 기계적인 안정성은 직경에 있는 300까지 mm를 간색합니다. (사진: 사업 철사)

Bruker의 차세대 N8 TITANOS는 2009년 12월에서 알려졌습니다. 시스템은 원자 해결책에 표면 측정 응용에 있는 가장 높은 안정성 그리고 정밀도를 아래로 제공하기 위하여 디자인됩니다. 경직되어 있는 화강암 기지를 가진 단 하나 비행기 아키텍쳐는 다성분 금속 번역 시스템에 중요한 이점을 제공합니다. N8 TITANOS는 300 mm 규모 300까지 mm x의 견본을 수용하골, 광학적인 현미경 검사법과 같은 추가 검사 기술로 갖춰질 수 있습니다. 저잡음 수준 ((z) RMS < 0.05 nm)를 가진 그것의 AFM 성과는 도량형학 측정을 고품질 결과를 제공할 수 있습니다.

Bruker Nano 부사장 Frank Saurenbach 박사, 논평되는 AFM를 위한: "Nano Bruker는 도량형학 목적을 위한 트레이스 할 수 있는 AFM에 있는 경험의 많은 년을 보냅니다. 우리는 Physikalisch-Technische Bundesanstalt 의 NIST의 독일 카운터파트에 이미 (PTB) 유사한 계기를 공급했습니다. 이 시스템은 우수한 결과를 제공하는 6 년간 서비스에 있었습니다. 우리는 이 중요한 NIST 명령을 이기기 위하여 기뻐하, 설명하 고성능 AFM 제품을 디자인하고 제조하는 Bruker의 능력을."

Hans Achim 박사 소란, Bruker 추가되는 AFM를 위한 Nano 주요한 기술 장교: "우리는 각종 최근 추가 개선으로부터 N8 TITANOS의 성과에 혜택을 받아 NIST의 PED에게 기대하고 있습니다. 시스템의 추가 증가된 안정성 조차 고정확도 및 정밀도의 트레이스 할 수 있는 AFM 결과를 제공하기 위하여 디자인됩니다."

Last Update: 12. January 2012 09:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit