Oxford-Instrument-Plasma-Technologie Empfängt Multisystem-Ordnung von der Universität von Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

Oxford-Instrument-Plasma-Technologie (OIPT), Führer in den Anlagen für Ätzung, Absetzung und Wachstum, hat vor kurzem eine Multisystemordnung von der Universität von Waterloo, Ontario, Kanada für Einbau in ihrem neuen Cleanroomteildienst empfangen. Die bestellten Prozesshilfsmittel sind System100 OIPTS ICP + System133 PECVD und ein Clusterhilfsmittel FlexAL PECVD/ALD, mit MultiWafer Stapelfähigkeit und dem Potenzial für die Lieferung einiger Prozessanwendungen.

OIPT-Hilfsmittel bieten den starken Stand an, der allein ist und clusterable Prozessblöcke, eine große Auswahl von Anwendungen und die Universität von Waterloo aktivierend werden die Anlagen für mehrfache Prozesstechniken einführen. Diese enthalten Silikonätzung Bosch, Cryo, Verbindungshalbleiter-, Metallätzung, PECVD. Darüber hinaus wird eins der Hilfsmittel gebündelt, um ALD erreichbare Fertigungsgenauigkeit anzubieten, um Beschichtung Al2O3 abzugeben konforme.

Hilfsmittel System100 ICP OIPTS

Das Gerät wird in dem Cleanroom bei Mike und Quantum-Nano-Mitte Ophelias Lazaridis, neues hochmodernes im Herzen der Universität von Waterloo-Campus jetzt im Bau aufbauen untergebracht. Der Teildienst, geplant für Fertigstellung im Jahre 2011, wird zwischen dem Institut für Quantums-Datenverarbeitung und dem Waterloo-Institut der Nanotechnologie geteilt.

Der Kauf des Geräts wird durch die großzügige Halterung IQC empfängt von der Kanada-Basis für Innovation, das Ontario-Forschungsfond, die Universität von Waterloo und die Namensvettern des Neubaus, des Mikes und der Ophelias Lazaridis ermöglicht.

Oxford-Instrumente übt verantwortliche Entwicklung und tieferes Verständnis der Welt durch Wissenschaft und Technik aus, und diese Ordnung für einen anderen neuen Hochschulforschungsteildienst ist- Testament zu dieser Verpflichtung

Last Update: 12. January 2012 22:43

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