Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Oxford Instrumen Plasma Teknologi Multi-Sistem Menerima Order dari University of Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

Oxford Instrumen Plasma Teknologi (OIPT) , pemimpin dalam sistem untuk etsa, deposisi dan pertumbuhan, baru-baru ini menerima pesanan sistem multi-dari University of Waterloo, Ontario, Kanada untuk instalasi di fasilitas Cleanroom baru mereka. Proses alat memerintahkan yang OIPT yang System100 ICP + System133 PECVD, dan alat PECVD / ALD FlexAL Cluster, dengan multi-wafer kemampuan batch dan potensi untuk menyediakan sejumlah aplikasi proses.

Alat OIPT menawarkan berdiri kuat sendiri dan modul proses clusterable, memungkinkan berbagai aplikasi, dan University of Waterloo akan mengimplementasikan sistem untuk beberapa proses teknik. Ini termasuk Bosch, Cryo silikon etch, Semiconductor Compound, Logam etch, PECVD. Selain itu, salah satu alat akan dikelompokkan untuk menawarkan kemampuan proses ALD, untuk deposit Al2O3 lapisan konformal.

OIPT yang System100 ICP Alat

Peralatan tersebut akan ditempatkan di Cleanroom pada Mike dan Ophelia Lazaridis Quantum-Nano Centre, sebuah bangunan negara-of-the-art-baru sekarang sedang dibangun di jantung kampus Universitas Waterloo. Fasilitas, dijadwalkan selesai pada 2011, akan dibagi antara Institute for Quantum Computing dan Waterloo Institute Nanoteknologi.

Pembelian peralatan ini dimungkinkan oleh dukungan yang murah hati menerima IQC dari Yayasan Kanada untuk Inovasi, Ontario Research Fund, University of Waterloo, dan namesakes gedung baru, Mike dan Ophelia Lazaridis.

Oxford Instrumen mengejar pembangunan yang bertanggung jawab dan pemahaman yang lebih mendalam tentang dunia melalui ilmu pengetahuan dan teknologi, dan ini agar fasilitas lain penelitian Universitas baru ini bukti komitmen bahwa

Last Update: 13. October 2011 11:13

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit