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La Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford Riceve l'Ordine di Sistema Multiplo dall'Università di Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

La Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford (OIPT), la guida nei sistemi per incissione all'acquaforte, il deposito e la crescita, recentemente ha ricevuto un ordine dall'Università di Waterloo, Ontario, Canada di sistema multiplo per impianto nella loro nuova funzione del locale senza polvere. Gli strumenti trattati ordinati sono gli System100 di OIPT ICP + System133 PECVD e uno strumento del Cluster di FlexAL PECVD/ALD, con la capacità in lotti del multi-wafer ed il potenziale per la fornitura delle una serie di applicazioni trattate.

Gli strumenti di OIPT offrono il supporto potente solo ed i moduli trattati clusterable, permettendo a una vasta gamma di applicazioni ed all'Università di Waterloo applicheranno i sistemi per le tecniche di trattamento di multiplo. Questi includono incissione all'acquaforte del silicio di Cryo, di Bosch, incissione all'acquaforte del Metallo, A Semiconduttore Composto, PECVD. Inoltre, uno degli strumenti sarà ragruppato per offrire a ALD la capacità trattata, per depositare il rivestimento conforme Al2O3.

Strumento dello System100 ICP di OIPT

La strumentazione sarà alloggiata nel locale senza polvere a Mike e nel Centro Quantum-Nano di Ofelia Lazaridis, una nuova costruzione avanzata ora in costruzione al centro dell'Università di città universitaria di Waterloo. La funzione, slated per completamento nel 2011, sarà divisa fra l'Istituto per la Computazione di Quantum e l'Istituto di Waterloo di Nanotecnologia.

L'approvvigionamento di strumentazione è permesso dal supporto generoso IQC riceve dalle Fondamenta del Canada per Innovazione, il Fondo di Ricerca di Ontario, l'Università di Waterloo e gli omonimi di nuovo bene immobile, di Mike e di Ofelia Lazaridis.

Gli Strumenti di Oxford persegue lo sviluppo responsabile e la comprensione più profonda del mondo con scienza e tecnologia e questo ordine per un'altra nuova funzione di Ricerca universitaria è testamento a quell'impegno

Last Update: 12. January 2012 22:46

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