אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה מקבל מערכת Multi-Order מאוניברסיטת ווטרלו

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה (OIPT) , המובילה בתחום מערכות בתצהיר, צמיחה לחרוט, קיבל לאחרונה צו רב במערכת מאוניברסיטת ווטרלו, אונטריו, קנדה להתקנה במתקן cleanroom החדש שלהם. תהליך כלי הורה הם System100 OIPT של ICP + System133 PECVD, וכלי FlexAL PECVD / אלד Cluster, עם יכולת רב רקיק האצווה ואת הפוטנציאל למתן מספר יישומים בתהליך.

כלים OIPT להציע עמדה חזקה לבד ומודולים clusterable תהליך, המאפשר מגוון רחב של יישומים, ואת אוניברסיטת ווטרלו יהיה יישום מערכות וטכניקות תהליך מרובים. אלה כוללים בוש, cryo סיליקון סמיקונדקטור לחרוט, במגרש, מתכת לחרוט, PECVD. בנוסף, אחד הכלים יהיו מקובצים להציע יכולת התהליך אלד, להפקיד Al2O3 ציפוי קונפורמי.

OIPT של System100 ICP כלי

הציוד ישוכנו ב cleanroom על מייק אופליה Lazaridis Quantum-Nano מרכז, בניין חדש המדינה-of-the-art כעת בבנייה בלב של אוניברסיטת ווטרלו הקמפוס. המתקן, נועדו עבור השלמת בשנת 2011, יהיה משותף בין מכון מחשוב קוונטי ומכון ווטרלו של ננוטכנולוגיה.

רכישת ציוד מתאפשרת על ידי IQC התמיכה הנדיבה מקבלת מקרן קנדה עבור חדשנות, מחקר אונטריו הקרן, אוניברסיטת ווטרלו, ואת namesakes של הבניין החדש, מייק אופליה Lazaridis.

אוקספורד מכשירים רודף הפיתוח אחראית הבנה עמוקה יותר של העולם באמצעות המדע והטכנולוגיה, וזאת על מנת מתקן נוסף באוניברסיטת מחקר חדש היא עדות למחויבות כי

Last Update: 31. October 2011 02:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit