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オックスフォードの器械血しょう技術はウォータールーの大学から多重システムの順序を受け取ります

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

腐食のためのシステムの (OIPT)オックスフォードの器械血しょう技術、リーダー、沈殿および成長はウォータールーの大学から、最近多重システムの順序、オンタリオ、新しいクリーンルーム機能のインストールのためのカナダを受け取ってしまいました。 発注されるプロセスツールは OIPT の System100 ICP + System133 PECVD、およびいくつかのプロセスアプリケーションを提供するための複数のウエファーのバッチ機能および潜在性の FlexAL PECVD/ALD クラスタツール、です。

OIPT のツールはだけ強力な立場を提供し、 clusterable プロセスモジュールは、広い応用範囲、およびウォータールーの大学を可能にして多重プロセス技術のためのシステムを実行します。 これらは Bosch、 Cryo のケイ素の腐食、化合物半導体、金属の腐食、 PECVD 含んでいます。 さらに ALD に Al2O3 等角のコーティングを沈殿させるためにプロセスケイパビリティを提供するように、ツールの 1 つは群がります。

OIPT の System100 ICP のツール

装置はマイクおよびオフェリア Lazaridis の Quantum Nano 中心、新しい最新式のクリーンルームで収納され建設中をウォータールーキャンパスの大学の中心で今構築します。 2011 年に完了の候補になった機能は量子計算のための協会とナノテクノロジーのウォータールー協会の間で共有されます。

装置の購入はウォータールーの革新のためのカナダの基礎から寛大なサポート IQC によって受け取ります、オンタリオの研究資金、大学、および新しい建物の同名の人、マイクおよびオフェリア Lazaridis 可能にされます。

オックスフォードの器械は科学技術によって世界の責任がある開発そして深い理解を追求し、別の新しい大学研究所のためのこの発注はその責任へ遺言です

Last Update: 12. January 2012 22:47

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