Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Oxford Instruments Plasma Technology Mottar Multi-System Bestill fra University of Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) , leder i systemer for etch, avsetning og vekst, har nylig mottatt en multi-system ordre fra University of Waterloo, Ontario, Canada for installasjon i sin nye renrommet anlegget. Prosessen verktøyene bestilt er OIPT er System100 ICP + System133 PECVD og FlexAL PECVD / ALD Cluster verktøy, med multi-wafer batch evne og potensial for å levere en rekke behandle søknader.

OIPT verktøy tilbyr kraftige stå alene og clusterable prosessmoduler, slik at et bredt spekter av applikasjoner, og University of Waterloo vil være å implementere systemer for flere prosessen teknikker. Disse inkluderer Bosch, Cryo silisium etch, Compound Semiconductor, Metal etch, PECVD. I tillegg vil et av verktøyene være gruppert å tilby ALD dyktigheten å sette Al2O3 belegg.

OIPT er System100 ICP Tool

Utstyret vil bli plassert i renrom ved Mike og Ophelia Lazaridis Quantum-Nano Centre, en ny state-of-the-art bygningen nå under bygging ved hjertet av University of Waterloo campus. Anlegget, planlagt for ferdigstillelse i 2011, vil bli delt mellom Institutt for Quantum Computing og Waterloo institutt for nanoteknologi.

Kjøpet av utstyr er gjort mulig av generøse støtte IQC mottar fra Canada Foundation for innovasjon, Ontario forskningsfond, University of Waterloo, og namesakes av det nye bygget, Mike og Ophelia Lazaridis.

Oxford Instruments forfølger ansvarlig utvikling og dypere forståelse av verden gjennom vitenskap og teknologi, og denne rekkefølgen for en ny Universitetet forskning anlegget er bevis på at engasjement

Last Update: 3. October 2011 07:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit