A Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford Recebe o Pedido do Sistema Múltiplo da Universidade de Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

A Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford (OIPT), o líder nos sistemas para gravura em àgua forte, o depósito e o crescimento, têm recebido recentemente um pedido da Universidade de Waterloo, Ontário do sistema múltiplo, Canadá para a instalação em sua facilidade nova da sala de limpeza. As ferramentas do processo pedidas são os System100 de OIPT ICP + System133 PECVD, e uma ferramenta do Conjunto de FlexAL PECVD/ALD, com capacidade do grupo da multi-bolacha e o potencial para fornecer um número de aplicações do processo.

As ferramentas de OIPT oferecem o suporte poderoso sozinho e os módulos clusterable do processo, permitindo uma vasta gama de aplicações, e a Universidade de Waterloo estarão executando os sistemas para técnicas múltiplas do processo. Estes incluem gravura em àgua forte do silicone de Bosch, de Cryo, gravura em àgua forte do Semicondutor Composto, do Metal, PECVD. Além, uma das ferramentas será aglomerado para oferecer a capacidade de processo de ALD, depositar o revestimento Al2O3 constituído.

Ferramenta do System100 ICP de OIPT

O equipamento será abrigado na sala de limpeza no Centro Quantum-Nano de Mike e de Ophelia Lazaridis, uma construção avançada nova agora sob a construção no centro da Universidade do terreno de Waterloo. A facilidade, slated para a conclusão em 2011, será compartilhada entre o Instituto para a Computação de Quantum e o Instituto de Waterloo da Nanotecnologia.

A compra do equipamento é tornada possível pelo apoio generoso IQC recebe da Fundação de Canadá para a Inovação, o Fundo de Pesquisa de Ontário, a Universidade de Waterloo, e os homónimos da construção nova, Mike e Ophelia Lazaridis.

Os Instrumentos de Oxford levam a cabo a revelação responsável e uma compreensão mais profunda do mundo com a ciência e a tecnologia, e este pedido para uma outra instalação de investigação nova da Universidade é testamento a esse comprometimento

Last Update: 12. January 2012 22:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit