Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Oxford Instrumenterar PlasmaTeknologi Mottar Mång--Systemet Beställer från Universitetar av Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

Oxford Instrumenterar PlasmaTeknologi (OIPT), ledare i system för etsar, avlagring, och tillväxt, har för en tid sedan mottagit ettsystem beställer från Universitetar av Waterloo, Ontario, Kanada för installation i deras nya cleanroomlätthet. Det processaa bearbetar beställt är OIPTS System100 ICP + System133 PECVD, och en FlexAL PECVD/ALD Cluster bearbetar, med mång--rånet grupperar kapacitet och det potentiellt för att ge ett nummer av processaa applikationer.

OIPT bearbetar det ensamma kraftiga stativ för erbjudandet, och clusterable processaa enheter och att möjliggöra en lång räcka av applikationer och Universitetar av Waterloo ska genomför systemen för processaa tekniker för multipel. Dessa inkluderar Bosch, Cryo silikon etsar, den Sammansatt Halvledaren, Metal etsar, PECVD. I tillägg bearbetar ett av ska samla i en klunga för att erbjuda att ALD processaa kapacitet, ska sätta in conformal täcka Al2O3.

OIPTS System100 ICP Bearbetar

Utrustningen ska inhysas i cleanroomen på Miken, och Ophelia Quantum-Nano Lazaridis Centrerar, en ny statlig-av--konst som nu bygger under konstruktion på hjärtan av Universitetar av den Waterloo universitetsområdet. Lättheten som kritiseras för avslutning i 2011, ska delas mellan Institutet för Quantum Beräkning och det Waterloo Institutet av Nanotechnology.

Köp av utrustning göras möjligheten av den generösa servicen IQC mottar från det Kanada Fundamentet för Innovation, den Ontario ForskningFonden, Universitetar av Waterloo och namnena av nybygget, Miken och Opheliaen Lazaridis.

Oxford Instrumenterar förföljer ansvarigutveckling och djupare överenskommelse av världen till och med vetenskap och teknologi, och denna beställer för en annan ny Universitetarforskninglätthet är testamentet till den förpliktelse

Last Update: 26. January 2012 01:46

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit