Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Oxford Instrumentong plasma Teknolohiya natatanggap Multi-System Order mula sa University ng Waterloo

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

Oxford Instrumentong plasma Teknolohiya (OIPT) , lider sa mga sistema para sa mag-ukit, pahayag at paglago, kamakailan-lamang nakatanggap ng isang multi-system order mula sa University of Waterloo, Ontario, Canada para sa-install sa kanilang mga bagong pasilidad sa cleanroom. Ang proseso na gamit iniutos ay OIPT System100 ICP + System133 PECVD, at isang FlexAL PECVD / ALD Cluster tool, na may multi-ostiya batch kakayahan at mga potensyal na para sa pagbibigay ng isang bilang ng mga aplikasyon ng proseso.

OIPT gamit ay nag-aalok ng malakas na tumayo nang mag-isa at clusterable proseso module, pagpapagana ng isang malawak na hanay ng mga application, at ang University ng Waterloo ay pagpapatupad ng sistema para sa maramihang mga pamamaraan ng proseso. Kabilang dito ang Bosch, Cryo silikon mag-ukit, tambalan semikondaktor, metal mag-ukit, PECVD. Sa karagdagan, ang isa sa mga tool ay tinipong sa nag-aalok ng ALD kakayahan ng proseso, upang deposito Al2O3 conformal patong.

OIPT System100 ICP Tool

Kagamitan ay housed sa cleanroom sa Mike at Ophelia Lazaridis kabuuan-Nano Centre, ang isang bagong estado-ng-the-art building na ngayon sa ilalim ng konstruksiyon sa puso ng sa University of Waterloo campus. Ang pasilidad, na slated para sa pagkumpleto sa 2011, ay ibabahagi sa pagitan ng ang Institute para sa kabuuan computing at ang Waterloo Institute ng Nanotechnology.

Ang pagbili ng mga kagamitan ay ginawa maaari sa pamamagitan ng mapagbigay IQC support na natatanggap mula sa Canada Foundation para sa Innovation, Ontario Research Fund, ang University of Waterloo, at ang mga namesakes ng bagong gusali, Mike at Ophelia Lazaridis.

Oxford Instrumentong pursues responsable development at mas malalim-unawa ng mundo sa pamamagitan ng agham at teknolohiya, at ang order na ito para sa isa pang bagong pasilidad ng pananaliksik ng University ay pahimakas na pangako

Last Update: 8. October 2011 04:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit