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牛津儀器等離子技術從滑鐵盧大學收到多系統訂單

Published on April 29, 2010 at 6:27 AM

牛津儀器等離子技術 (OIPT)、領導先鋒在系統銘刻的,證言和增長,從滑鐵盧大學最近收到了多系統訂單,安大略,加拿大安裝的他們新的清潔的房間設備的。 被定購的處理工具是 OIPT 的 System100 ICP + System133 PECVD 和一個 FlexAL PECVD/ALD 字符串工具,以多薄酥餅批功能和潛在為提供一定數量的處理應用。

OIPT 工具提供單獨強大的立場,并且 clusterable 處理模塊,啟用各種各樣的應用和滑鐵盧大學實施多個處理技術的系統。 這些包括 Bosch, Cryo 硅銘刻,化合物半導體,金屬銘刻, PECVD。 另外,其中一個工具將成群提供 ALD 加工能力,存款 Al2O3 保形塗層。

OIPT 的 System100 ICP 工具

設備在清潔的房間將被安置在麥克和奧菲莉亞 Lazaridis Quantum 納諾中心,一新科技目前進步水平現在編譯建设中在滑鐵盧校園中心大學。 這個設備,在 2011年指定為完成,將共享在量子計算學院和納米技術滑鐵盧學院之間。

設備採購由慷慨的技術支持 IQC 使成為可能從創新的加拿大基礎接受、安大略研究經費、滑鐵盧大學和新的大廈的同名的人,麥克和奧菲莉亞 Lazaridis。

牛津儀器通過科學技術繼續處理負責的發展和對這個世界的更加深刻的理解,并且另一個新的大學研究所的此指令是遺囑對該承諾

Last Update: 25. January 2012 20:04

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